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X'Pert3 MRD 高分辨X射線衍射儀

參考價面議
具體成交價以合同協議為準
  • 公司名稱上海德竹芯源科技有限公司
  • 品       牌
  • 型       號XPert3 MRD
  • 所  在  地上海
  • 廠商性質其他
  • 更新時間2023/9/13 9:47:08
  • 訪問次數255
產品標簽:

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上海德竹芯源科技有限公司是一家專注于功率器件、光電器件、射頻器件、量子器件、MEMS傳感器領域的設備銷售、系統集成、設備國產化的公司。主要為高校、研究所、中試量產線及晶圓FAB廠提供半導體工藝設備、檢測設備、封裝設備、測試設備。目前公司已成為國內少數幾家專業提供半導體工藝、檢測、封裝、測試整體解決方案的企業。公司主要成員為復旦大學、上海微系統所等半導體相關專業博士,擁有一支經驗豐富、技術過硬的團隊。能夠出色地完成售前售中、售后的服務。目前公司已與眾多國際半導體設備企業建立了良好的合作關系(如:EVG、SAWNATEC、SENTECH、PICOSUN、SYSKEY、 Mavemn Panalyrical、PHL-CHINA、TEMPRESS,ROHDE&SCHWARZ、MPI等),致力于根據用戶的科研方向和量產的器件類別提供相應的全套設備選型和工藝整體解決方案。
無線電綜合測試儀
高分辨率X射線衍射儀,主要用途為測量 Si, Ge, SiC, GaN, InGaN, AlGaN, GaAs, InP, AlN, GaSb 等化合半導體材料的單晶和外延層材料的結晶完整性,外延層及相應半導體器件結構的組分、厚度、弛豫度等參數的測定,外延結構的晶格失配及應變狀態分析,X-Y map均勻性分析,雙軸晶和三軸晶X射線衍射,對稱和非對稱掃描,Out-of-plane 和 In-plane 衍射掃描等。
X'Pert3 MRD 高分辨X射線衍射儀 產品信息

設備功能

倒易空間掃描(RSM) – 一分鐘完成自動掃描及自動分析

高分辨衍射(HRXRD) – W/2T,2T/W,2T……掃描

搖擺曲線(Rocking Curve) – W 掃描

反射率(XRR) – 材料密度,厚度,粗糙度(Option)

晶格參數(Lattice parameter),晶向(Orientation)及晶面鑒定(Reflection plane)

切角(Off-Cut)及平辺方向(Flat)鑒定

晶體缺陷鑒定(Defect)

曲率半徑鑒定(Curvature)

應力(Strain)及弛裕度(relaxation)鑒定

晶格失配率鑒定(Mismatch)

成份分析,厚度分析

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