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傳統(tǒng)的清洗方式是利用去離子水沖洗芯片,這種方式中,去離子水以很高的流量沖擊芯片,將芯片上的雜質和污染物沖走,從而達到清洗效果。但是這種清洗方法對芯片的沖擊力過大,容易造成元件圖案的損壞,并且這種清洗方式的去離子水的利用率低,導致資源浪費。另一種清洗方式是采用鹽酸或氫氟酸進行浸泡清洗,然而,此種清洗方法的清洗效果不佳,表面殘留的溶液會對芯片表面造成腐蝕。
為了彌補傳統(tǒng)工藝中的不足,萊特萊德提供更為穩(wěn)定的超純水系統(tǒng),具有工藝簡便、成本低、性能*、耐久性能好、適用范圍廣等優(yōu)點,可高效去除芯片表面上的殘留物,防止對芯片造成腐蝕,從而提高芯片的使用壽命。