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半導體行業用超純水設備優勢:
1、設備運行安全、穩定、可靠,并實現系統設備的遠程監控。
2、設備配有聲光報警,設備運行出現任何異常時,系統可進行聯鎖保護。
3、控制系統采用集中監控方式,能與工藝系統網絡通訊,實現工藝系統全自動運行。
4、終端供水泵能夠實現不降壓設備切換。
半導體行業用超純水設備應用范圍
1、液晶顯示器的生產、屏面需用純水清洗和用純水配液。
2、晶體管生產中主要用于清洗硅片,另有少量用于藥液配制。
3、集成電路生產中高純水清洗硅片。
4、半導體材料、器件、印刷電路板和集成電路。