SC2020晶體管參數測試系統
系統概述
SC2020晶體管參數測試系統是一款半導體分立器件電學參數測試的專用設備,主要用于半導體器件生產廠家進行圓片中測或封裝成測,各類整機廠家、科研院所的質量檢測部門IQC進行來料檢驗,研發部門進行失效分析、選型配對、可靠性分析測試。
系統為桌面放置的臺式機結構,由測試主機和程控電腦兩大部分組成。外掛各類夾具和適配器,還能夠通過Prober接口、Handler接口可選(16Bin)連接分選機和機械手建立工作站,實現快速批量化測試。通過軟件設置可依照被測器件的參數等級進行自動分類存放。能夠應對“來料檢驗 ”“失效分析 ”“選型配對 ”“量產測試 ”等不同應用場景。
系統軟件基于Labview平臺開發,填充式菜單界面,帶自動糾錯功能,可進行器件參數的分檔、分類編程,并可實時顯示和記錄分檔、分類測試結果,測試結果和統計結果均可以EXCEL格式存貯于計算機中,根據需要可以打印輸出。
系統特點
◆ 系統采用大規模32位ARM&MCU設計
◆ 可測試7大類26分類的電子元器件
◆ 程控高壓源1400V,提供2000V選配
◆ 程控高流源40A,提供100A,200A,500A 選配
◆ 控制極電壓可達40V,電流可達100mA
◆ 系統數據采集采用16位ADC,1M/S采樣速率
◆ 測試漏流分辨率可達1.5pA
◆ 四線開爾文連接保證加載測量的準確
◆ Prober接口、Handler接口可選(16Bin)
◆ 連接分選機測試量可達每小時1萬個
◆ 可為用戶提供豐富的測試適配器
◆ 可選配測試結電容,諸如Ciss,Crss,Coss;
◆ 系統符合《GJB128半導體分立器件試驗方法》等相關標準。
系統指標
? 技術指標
系統功能模塊 | 量程范圍 | 分辨率 | 精度 |
低壓源(FV) | 0~±40V | 1uV | ±0.1% |
低流源(FI) | 0~±100mA | 1pA | ±0.1% |
高壓源(HVS) | 0~±1400V/2000V | 1mV | ±0.5% |
高流源(HIS) | 0~±40A/100A/200A/500A | 1uA | ±1% |
電壓測量(MV) | 0~±1400V/2000V | 1uV | ±0.1% |
電流測量(MI) | 0~±40A/100A/200A/500A | 1pA | ±0.1% |
? 測試能力
器件種類 | 測試參數 |
二極管類 (含TVS SBD ZENER整流橋) | BVR、IR、VF、VZ、RZ、ZZ、Vrrm、Irrm、Tr(選配) |
三極管 | BVCBO、BVCEO、BVCES、BVEBO、HFE、ICBO、ICEO、ICES、IEBO、VBESAT、VCESAT、VBE、選配(Ciss、Coss、Crss) |
可控硅/雙向可控硅 | IGT、VGT、VTM、VDRM、VRRM、IH、IL、IDRM、IRRM |
場效應管 | VGSTH、IDSS、BVDSS、VDSON、IGSS、VSD、VGSON、IDON、RDSON、GFS、選配(Ciss、Coss、Crss) |
IGBT | BVCES、BVGES、ICES、IGES、VCESAT、VGETH、VCEON、VGEON、VF、ICON、選配(Ciss、Coss、Crss) |
壓敏電阻 | VRRM、VDRM、IRRM、IDRM、Cka |
光耦 | VF、IR、BVCEO、VF、IR、BVCEO、BVECO、ICEO、CTR、VCESAT、 選配(Tr、Tf) |
三/四端穩壓器 | Vout、Iin、IB、VD、Max_lo、Ro |
繼電器 | Vf、Ir、Vl、Il、Ift、Ron、選配(Ton、Toff) |
功率驅動器、 高邊功率開關 | Vbb(AZ)、Von(CL)、Rson、Ibb(off)、Il(lim)、Coss、Fun_pin_volt、lvs(off)、lvs(on)、Rson_h、Rson_l、lin、Iinh、ls_Volt、Sr_volt |
電壓保護器 | Vrrm、Vdrm、Irrm、Idrm、Cka、△Vr |
基準IC模塊 | Vref、 △Vref、lref、Imin、loff、Zka、Vka |
傳感監測類 | 電流傳感器(ACS712XX系列、CSNR_15XX系列)(選配); 霍爾器件(MT44XX系列、A12XX系列)(選配); 電壓監控器(選配);電壓復位IC(選配); |
應用領域及場景
>測試分析(功率器件研發設計階段的初始測試)
>失效分析(對失效器件進行測試,查找失效機理。以便于對電子整機的整體設計和使用過程提出改善方案)
>選型配對(在器件焊接至電路板之前進行全部測試,將測試數據比較一致的器件進行分類配對)
>來料檢驗(研究所及電子廠的質量部(IQC)對入廠器件進行抽檢/全檢,把控器件的良品率)
>量產測試(可連接機械手、掃碼槍、分選機等各類輔助機械設備,實現規模化、自動化測試)