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成都維克安科技有限公司
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產品簡介
①流量設定：在閥控狀態下，以F.S滿量程為基準，設定范圍“0~110%F.S"（注：“0"-根據MFC不用，范圍可能是2~110%）。
②流量讀取：自動讀取實時流量值。
③清洗（清掃）：在安裝氣路過程中，方便清除管道內的異物，確保管路的清潔。注：間斷使用，不可長時間使用。
④關閉：實現MFC的關閉功能。
⑤累積流量設定：控制一定總量的氣體，到想要的總量，自動關
產品介紹
1 | 量程范圍 | （0~5，10,20,30,50,100,200,300,500...）SCCM （0~1,2,3,5,10, 50,100,200,500...） SLM |
2 | 準確度 | +1.0%F.S |
3 | 線性 | +0.5~1.5%F.S |
4 | 重復精度 | +0.2%F.S |
5 | 響應時間 | 電特性：10sec 氣特性：（1~4）sec |
6 | 工作壓差 | （0.1~0.5）MPa |
7 | 耐壓 | 3MPa |
8 | 工作環境溫度 | 0~70℃ |
9 | 數字量 | RS485 MODBUS協議 |
10 | 模擬量 | DC 0~5V ，4~20mA 可選 |
11 | 供電 | DC +15V/24V 可選，流量計＜400mA，控制器＜600mA |
12 | 電氣連接 | DB15 |
13 | 漏率 | 1×10-8SCCSHe |
14 | 底座材質 | 316L不銹鋼 |
15 | 密封材質 | 氟橡膠，丁晴橡膠，氯丁橡膠 |
16 | 氣路接頭 | Φ3，Φ6，Φ10，1/8〞,1/4〞，3/8〞 |
氣體流量控制器帶顯示型由MFC-500和流量顯示積算儀組成使用方法和操作步驟
3.1開機操作
檢查各設備連接處應無泄漏現象，，氣源的溫度和壓力應穩定，按照產品說明電路連接正確之后通電。
3.2與流量顯示儀連接
開機操作之后，先將流量顯示儀的閥開關置到“關閉”位，將設定值調到零，再開氣，待零點穩定后，再轉到“閥控”位，然后設定值調到需要的流量值，則實際流量值會跟隨設定值而變化。
3.3與計算機連接
開機操作之后，通過RS485與計算機通訊，之后在計算機上將設定值調到零，再開氣，待零點穩定后，再通過計算機將設定值調到需要的流量值，則實際流量值會跟隨設定值而變化。
3.4關機操作
先斷氣，再將設定值調到零，然后斷電。
氣體流量控制器.注意事項
4.1 加裝過濾器
使用氣體必須凈化，切忌粉塵、液體和油污。必要時加裝過濾器，如果流量計出口接有液體源瓶，應在流量計出口加裝單向閥，防止液體回流損壞流量計。
4.2 使用腐蝕性氣體
流量計通道采用的材料為：SUS 316L(00Cr17Ni14Mo2),SUS 417J1（00Cr30Mo2）, 氟橡膠等耐蝕材料。在用戶系統無汽水、低泄露、勤清晰、使用得當的條件下，可以用于控制一般的腐蝕性其他使用強腐蝕性氣體和有機溶劑氣體時，應在定貨時聲明。 使用特殊腐蝕性氣體，所有密封材料都要作相應改變。
4.3 安裝位置問題
本控制器安裝時保持安裝面水平，但對位置并不特別敏感， 可以任意位置安裝，非水平位置安裝時若發現零點偏移，可以調整零點后在工作。
4.4閥口密封問題
質量流量控制器的電磁閥是調節閥, 不是截止閥, 不能當截止閥使用,
用于實驗室，藥品生產，工業制造等。
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