聯系電話
成都維克安科技有限公司
初級會員·3年
具體成交價以合同協議為準
- 聯系人：
- 吳經理
- 電話：
- 86-028-83399365
- 手機：
- 15882015767
- 售后：
- QQ:409595217
- 傳真：
- QQ409595217
- 地址：
- 成都維克安科技有限公司
掃一掃訪問手機商鋪
微信掃碼進入微名片
產品簡介
質量流量控制器的英文名字叫“MASS FLOW CONTROLLER“（簡稱MFC），它通常由流量傳感器、流量調節閥、放大控制電路和分流器控制通道等部件組成。
產品介紹
氣體質量流量控制器-流量控制-模擬量輸出氣體質量流量控制器
成都維克安科技有限公司
質量流量控制器(Mass Flow Controller縮寫為MFC)用于對于氣體或者液體的質量流量進行精密測量和控制。擴散，氧化，分子束外延，CVD，等離子刻蝕，濺射，離子注入，以及真空鍍膜設備，光纖熔煉，微反應裝置，混氣配氣系統，毛細管測量氣象色譜儀，光導纖維制造設備中。并廣泛用于石油化工。冶金，制藥等。特點:精度高，重復性好。
流量量程(N2)
2sccm 3sccm 5sccm 10sccm 20sccm 30sccm 50sccm 100sccm 200sccm 300sccm 500sccm 1slm2slm 3slm 5slm 10slm 20slm 30slm 50slm 100slm 150slm 200slm 250slm 300slm 500slm 750slm1000slm 1500slm 2000slm
產品精度
耐壓
全部 3MPa 10MPa
輸入輸出信號
全部 (0~5)VDC (1~5)VDC (0~20)mA (4~20)mA RS-485 DeviceNet Profibus
電源
全部 ±15V 24V ±8 ~ ±16 VDC or +14 ~ +28 VDC
1 | 量程范圍 | （0~5，10,20,30,50,100,200,300,500...）SCCM （0~1,2,3,5,10, 50,100,200,500...） SLM |
2 | 準確度 | +1.0%F.S |
3 | 線性 | +0.5~1.5%F.S |
4 | 重復精度 | +0.2%F.S |
5 | 響應時間 | 電特性：10sec 氣特性：（1~4）sec |
6 | 工作壓差 | （0.1~0.5）MPa |
7 | 耐壓 | 3MPa |
8 | 工作環境溫度 | 0~70℃ |
9 | 數字量 | RS485 MODBUS協議 |
10 | 模擬量 | DC 0~5V ，4~20mA 可選 |
11 | 供電 | DC +15V/24V 可選，流量計＜400mA，控制器＜600mA |
12 | 電氣連接 | DB15 |
13 | 漏率 | 1×10-8SCCSHe |
14 | 底座材質 | 316L不銹鋼 |
15 | 密封材質 | 氟橡膠，丁晴橡膠，氯丁橡膠 |
16 | 氣路接頭 | Φ3，Φ6，Φ10，1/8〞,1/4〞，3/8〞 |
相關產品
-
￥面議 -
￥面議 -
￥面議
