主機儀器架# 大理石工作臺面# 高精密氣浮主軸# 氣浮立柱系統# 橫導軌移動裝置# 調心調平工作臺# 精密三爪卡盤# 空氣過濾系統# 電器控制系統# 圓光柵編碼器# 電感傳感器# φ2x10mm、φ1x10mm、φ0.5x10mm 紅寶石球測頭各一個# 電腦# HP噴墨打印機# 測量軟件# 標準玻璃半球# 橢圓標準件# 圓柱標準器
項目 Item | 參數 Parameter | |
測量范圍 measuring range | 直徑 Max. dia. | ф300mm |
最小內徑 Min. inner dia | ф5mm | |
高度 Max height | 420mm | |
主軸精度 Spindle accuracy | 徑向誤差 Radial error | ±(0.025+5H/10000)μm |
軸向誤差 Axial error | ±(0.025+6X/10000)μm | |
回轉軸線與Z軸導軌平行度 Parallelism between Rotary Axis and Z-Axis Guideway | 1.2μm/200mm（母線基準） | |
工作臺 Workbench | 臺面直徑Table dia. | φ160mm |
回轉直徑Rotation dia. | φ400mm | |
承載重量Load Wt. | 30Kg | |
調整范圍 Adjustment range | 調偏心±3mm ; 調水平±2° Adjust the eccentricity ±3mm; adjust the level ±1° | |
旋轉速度spinning speed | 0-12 rpm | |
立柱 | 直線度（窄范圍） | 0.3μm /100mm |
直線度（全范圍） | 0.8μm /300mm | |
水平臂 Horizontal arm | 水平移動距離 Horizontal moving distance | 160mm |
移動速度Moving speed | 0.5-6mm/s 或手動 0.5-6mm/s or manual | |
傳感器 sensor | 量程range | 500μm (半徑差) 500μm (radius difference) |
分辨率Resolution | 0.005μm | |
測針形狀 Stylus shape | φ2x10mm、φ1x10mm、φ0.5x10mm 紅寶石球測頭各一個 | |
測力 Force measurement | 1-12g | |
數據采集 Data acquisition | 進口光柵14400點/周 Imported grating 14400 points/cycle | |
放大倍率 Magnification | 任意至20萬倍 Arbitrary to maximum 200,000 times | |
氣源壓力Air Source | 0.45～0.80Mpa | |
氣源流量Air consumption | ≥0.2 m3/min | |
電源Power | AC 220V±10% 50Hz | |
環境要求Environmental conditions | 溫度(T)：10～30℃；相對濕度(RH)：＜85% | |
