主機(jī)儀器架# 大理石工作臺(tái)面# 高精密氣浮主軸# 大理石立柱系統(tǒng)# 橫導(dǎo)軌移動(dòng)裝置# 調(diào)心調(diào)平工作臺(tái)# 精密三爪卡盤# 空氣過濾系統(tǒng)# 電器控制系統(tǒng)# 圓光柵編碼器# 電感傳感器# 電腦# HP噴墨打印機(jī)# 測(cè)量軟件# 標(biāo)準(zhǔn)玻璃半球# 橢圓標(biāo)準(zhǔn)件
項(xiàng)目 Item | 參數(shù) Parameter | |
測(cè)量范圍 measuring range | 直徑 Max. dia. | ф220mm |
| 最小內(nèi)徑 Min. inner dia. | ф3mm |
| 高度 Max height | 350mm |
主軸精度 Spindle accuracy | 徑向誤差 Radial error | ±(0.025+5H/10000)μm |
| 軸向誤差 Axial error | ±(0.02+6X/10000)μm |
工作臺(tái) Workbench | 臺(tái)面直徑Table dia. | φ160mm |
| 回轉(zhuǎn)直徑Rotation dia. | φ300mm |
| 承載重量Load Wt. | 30Kg |
| 調(diào)整范圍 Adjustment range | 調(diào)偏心±2mm ; 調(diào)水平±1° Adjust the eccentricity ±2mm; adjust the level ±1° |
| 旋轉(zhuǎn)速度Rotation Speed | 0-12 rpm |
水平臂 Horizontal arm | 水平移動(dòng)距離 Horizontal moving distance | 150mm |
| 移動(dòng)速度Moving speed | 0.5-6mm/s 或手動(dòng) 0.5-6mm/s or manual |
傳感器 sensor | 量程range | 500μm (半徑差) 500μm (radius difference) |
| 分辨率Resolution | 0.005μm |
| 測(cè)針形狀 Stylus shape | φ2mm寶石球測(cè)頭（有更多直徑可選擇） φ2mmRuby tip (φ1mm、φ0.5mmoptional) |
| 測(cè)力 Meas. force | 1-12g |
數(shù)據(jù)采集 Data acquisition | 進(jìn)口光柵7200點(diǎn)/周 Imported grating7200 points/cycle | |
放大倍率 Magnification | 任意至20萬倍 Arbitrary to maximum 200,000 times | |
