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HP-200 柜式熱板

參考價面議
具體成交價以合同協議為準
  • 公司名稱上海德竹芯源科技有限公司
  • 品       牌
  • 型       號HP-200
  • 所  在  地上海
  • 廠商性質其他
  • 更新時間2024/4/7 10:00:37
  • 訪問次數166
產品標簽:

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上海德竹芯源科技有限公司是一家專注于功率器件、光電器件、射頻器件、量子器件、MEMS傳感器領域的設備銷售、系統集成、設備國產化的公司。主要為高校、研究所、中試量產線及晶圓FAB廠提供半導體工藝設備、檢測設備、封裝設備、測試設備。目前公司已成為國內少數幾家專業提供半導體工藝、檢測、封裝、測試整體解決方案的企業。公司主要成員為復旦大學、上海微系統所等半導體相關專業博士,擁有一支經驗豐富、技術過硬的團隊。能夠出色地完成售前售中、售后的服務。目前公司已與眾多國際半導體設備企業建立了良好的合作關系(如:EVG、SAWNATEC、SENTECH、PICOSUN、SYSKEY、 Mavemn Panalyrical、PHL-CHINA、TEMPRESS,ROHDE&SCHWARZ、MPI等),致力于根據用戶的科研方向和量產的器件類別提供相應的全套設備選型和工藝整體解決方案。
無線電綜合測試儀
HP-200 熱板應用于光刻、MEMS 或相似工藝中,為提供精準的前烘和后烘工藝而存在。溫度范圍默認可以達到 250°C。設定溫度與實際溫度之間幾乎無偏差,可達到非常高質量的工藝水平。HP 系列熱板具備高水平的溫度精度重現性以及溫度分布均勻性。可處理 200 × 200mm 尺寸的基片。 熱板加熱表面有玻璃蓋板,方便清潔。有此設計,也可大限度降低維護成本。因此,SAWATEC 熱板是實驗室、研發、試產項目以及研究所的優選。
HP-200 柜式熱板 產品信息

產品功能

數字溫度控制及實時溫度顯示

重復工藝的快速啟動

自動溫度限幅開關,避免過熱

加熱工藝可編程多段式,每個工藝可設置 20 段

電動升降式載片頂針

配備安全玻璃,也方便清潔

熱板快速調平,避免光刻膠流動

用戶操作的工藝參數配置界面以及觸摸屏

基片通過真空吸附固定

手動上下片


性能參數

均勻加熱區域:200mm × 200mm

溫度范圍:室溫到 250℃

溫度均勻性:100℃ 時溫差范圍 +/- 0.6℃

電動驅動頂針的升降


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