的靈活性
650系列過(guò)程控制器采用強(qiáng)大的微處理器，并使用隨附的 PC 軟件（以面向?qū)ο蟮木幊陶Z(yǔ)言編寫(xiě)），在過(guò)程定義和使用方面實(shí)現(xiàn)了幾乎的靈活性。該控制器允許操作員在過(guò)程執(zhí)行期間實(shí)時(shí)交互，包括暫停時(shí)間、停止和從該點(diǎn)繼續(xù)。
內(nèi)碗設(shè)計(jì)消除回濺
封閉的碗設(shè)計(jì)，加上過(guò)程控制器的精度，允許大多數(shù)涂料在靜止?fàn)顟B(tài)下干燥，提高均勻性并大大限度地減少顆粒污染。上部增壓室在底座內(nèi)部關(guān)閉以提供重疊密封，蓋子內(nèi)側(cè)有一個(gè)特殊的排水溝，可將流體引導(dǎo)至系統(tǒng)后部，以防止化學(xué)品意外滴落到基板上。
免受化學(xué)污染
專有的迷宮式密封可保護(hù)電機(jī)和控制電子設(shè)備免受化學(xué)污染。這種密封為工藝室提供了氮?dú)獯祾?，并且在現(xiàn)場(chǎng)測(cè)試期間已被證明在亞微米水平上無(wú)顆粒。該系統(tǒng)的蓋子具有耐化學(xué)性，并且在整個(gè)系統(tǒng)的某些非潤(rùn)濕區(qū)域僅使用了ECTFE涂層的 316 不銹鋼螺釘。
既實(shí)用又方便
系統(tǒng)可以并且將會(huì)通過(guò)可下載的固件版本在現(xiàn)場(chǎng)輕松快速地持續(xù)更新。
?智能嵌鎖，系統(tǒng)蓋板具有智能嵌鎖裝置，確保操作安全
?防腐裝置
?設(shè)有保護(hù)氣體裝置：旋涂過(guò)程中對(duì)旋轉(zhuǎn)馬達(dá)進(jìn)行氣流保護(hù)
?通信接口，藍(lán)牙連接
| 項(xiàng)目 | 內(nèi)容 |
|---|---|
| 腔體尺寸 | 9. 5英寸（241毫米） |
| Wafer芯片尺寸 | 10-150mm直徑的材料，方片125x125mm |
| 轉(zhuǎn)動(dòng)速度 | 0-12, 000rpm |
| 旋涂加速度 | 0-12, 000rpm/sec |
| 馬達(dá)旋涂轉(zhuǎn)速 | 穩(wěn)定性能誤差＜±1% |
| 轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)精度 | ＜0. 2rpm,重復(fù)性＜0. 2rpm |
| 工藝時(shí)間設(shè)定 | 1-5999. 9 sec/step 0. 1 精度 |
| 勻膠機(jī)材質(zhì) | NPP天然聚丙烯材質(zhì)，抗腐蝕性和抗化學(xué)物性 |
| 高精度數(shù)碼控制器 | PLC控制，設(shè)置點(diǎn)精度小于0. 006% |
| 分辨率 | 小于0. 5轉(zhuǎn)／分，可重復(fù)性小于±0. 5轉(zhuǎn)／分 |
