低溫等離子體是繼固態、液態、氣態之后的物質第四態，當外加電壓達到氣體的放電電壓時，氣體被擊穿，產生包括電子、各種離子、原子和自由基在內的混合體。放電過程中雖然電子溫度很高，但重粒子溫度很低，整個體系呈現低溫狀態，所以也稱為低溫等離子體。低溫等離子體降解污染物是利用這些能力好電子、自由基等活性粒子和廢氣中的污染物作用，使污染物分子在短的時間內發生分解，并發生后續的各種反應以達到降解污染物的目的。

等離子廢氣處理設備氣體吸附過程通常由下步驟組成：

1.吸附，已經進到微孔表面的吸附質分子被固體所吸附。從噴涂車間產生的廢氣，由凈化系統的吸氣罩捕捉經管道進入吸附床，再經活性炭纖維進行凈化，經處理后的氣體由風機經排氣筒排出，凈化后氣體達標排放。

2.外擴散，吸附質分子由氣管主體到吸附劑顆粒外表面的擴散；

3.內擴散，吸附質分子沿著吸附劑的孔道深入到吸附劑內表面的擴散。

等離子廢氣處理設備是通過導電介質(氯化鈉溶液或細胞液中的電解質)在電極（雙極或多極形成電壓差）周圍形成一個高度聚集的等離子體區。等離子體區是由高度離子化了的粒子組成，這些離子化了的粒子具有足夠的能量粉碎組織內的分子分子鏈，從而使分子和分子分離，組織體積縮小。不直接破壞組織，對周圍組織損傷小。由于電流不直接流經組織，組織發熱較少，溫度低。所以具備間接組織損害小、少的熱滲透、通過分子間的分離，定點消融等優點。

等離子廢氣處理設備能去除揮發性無機物、硫化氫、氨氣、硫醇類等主要污染物，以及各種惡臭味，對于長期彌漫、積累的惡臭、異味，24小時內即可祛除，并且具有殺滅空氣中病毒等各種微生物能力，而且具有明顯的作用。

等離子廢氣處理設備安裝規范要求

1.輸入電源與凈化器所用電源相符，嚴禁輸入電源與凈化器所用電源不符，且凈化器箱體接地。

2.凈化器進風口安裝變徑導風分流管(內設百葉式分流片，每片間距100MM)，使廢氣平均分布進入凈化器的各處理室，提高凈化器使用率和處理效果。

3.在安裝凈化器留有足夠空間用來打開凈化器的門艙和電控蓋，方便維護，檢修及清洗。

4.凈化器安裝在室外，遠離人群并對凈化器的電控電源加蓋保護，以防雨水及陽光損壞電控電源而導致發生事故；否則后果自行承擔。

5.凈化器需拆散搬運安裝時，由人員根據原有裝配規范操作組裝，嚴禁有雜物或砂塵進入內部處理室，并檢查內部件是否牢固。

6.選擇凈化器安裝位置時，要求與污染源保持5米以上距離，抽風機與凈化器保持在3米以上距離較為合適，并加設減振套以防影響凈化器工作。

7.凈化器安裝在高樓天臺時，建議安裝防雷設施，以保，嚴禁將凈化器安裝在高溫設施附近。

吸附回收主要是利用吸附材料將廢氣中的有用溶劑吸附下來，并脫附回收利用有用溶劑的方法。使用廢氣處理設備時我們要注意：

一、廢氣處理裝置經試運轉后，應將調節閥門固定或作出標志，不應隨意改動。若一個處理系統連接幾個排氣點時，在某一排氣點的工藝設備停止運轉時，該排氣罩也不宜關閉，以免改變其他排氣覃的排風量。

二、一般有用廢氣處理裝置應在工藝設備啟動之前啟動，在工藝設備停止運行數分鐘之后再關閉，以防廢氣未處理擴散到大氣中。

三、日常維護的主要任務是取消設備、管道、排氣罩;清掃孔、觀察孔等處的漏風、調節好系統的供液量、風量和風壓，排除多樣可能產生故障的隱患。