低溫等離子凈化器在廢氣處理工程中的應用較為廣泛，其主要工藝流程主要由以上六大部分組成。

氣體收集系統—預處理噴淋洗滌系統—低溫等離子凈化系統—尺度氣體吸附催化系統—排放系統—控制系統氣體收集系統主要是將構筑物自由揮發的氣體收集起來并輸送到后續處理系統。具體包括氣罩系統、管道輸送系統和風機。

廢氣處理中洗滌系統用來和廢氣在洗滌塔內進行預處理化學反應，去處粉塵且通過化學反應后的氣體達到廢氣主打產品凈化處理，具體包括一對一填料、噴淋裝置、脫水層、風機、加藥系統等。

低溫等離子凈化器內部裝有值得信賴的碰吸單元，截留去除廢氣中的顆粒物質，廢氣收集系統收集的多元素氣體經過等離子活性氧凈化裝置，在高壓等離子電場的作用下，電離初始態氧將其中的廢氣離子進行電離荷電凈化，帶電的微小離子(塵埃粒子)被吸附單元所收集并流入和沉積到氣體處理裝置的儲塵箱內，氣體內的無益氣體被電場內所產生的臭氧所具體以實際為主，并去除了異味，無益氣體被除掉,達到廢氣處理的目的。

吸附催化凈化處理裝置是一種干式廢氣處理設備。由箱體和裝填在箱體內的吸附單元組成，吸附單元根據廢氣處理要求添加催化劑達到進一步去處異味氣體的目的。控制系統主要用來控制系統開機、停運，并對系統運行效果進行檢測，反饋系統的運行狀態和技術參數，從而使設備處于佳運行狀態，實現無人值守。

低溫等離子凈化器的技術：

1、過濾技術：顆粒污染物過濾技術主要是HEPA濾網，HEPA濾網質量參差不齊，一些濾網雖然具有較高的過濾效率，但是阻力大，能效比比較低，而且很容易堵塞，壽命較短，一般建議選用帶有靜電駐極的容塵HEPA濾網，靜電駐極技術使得無紡布纖維帶有正負電，捕捉空氣中的顆粒物，很多HEPA濾網都號稱具有靜電駐極技術，但是由于技術原因很多濾網的駐極電荷在較短的時間內會衰減的很快，導致過濾效率降低。

2、關注適用面積或顆粒物潔凈空氣量：空氣凈化器凈化能力的強弱，主要是由適用面積和顆粒物潔凈空氣量（CADR：提供的潔凈空氣的速率）決定，兩者之間的關系為：適用面積=CADR×0.1。對其它污染物的凈化能力，應和適用面積相結合。

3、能效比和能效等級：空氣凈化器通常是長期連續使用的，能效比作為衡量空氣凈化器凈化能力與電力消耗的重要指標，值得大家關注。能效比和能效等級越高，代表空氣凈化器越節能，使用成本越低。

4、臭氧釋放量：臭氧作為強氧化劑具有的凈化能力，但對人體是有傷害的。對空氣凈化器臭氧釋放量有強制性要求，限定在≤5×10-6%（臭氧具有魚腥味）。