微光顯微鏡EMMI_紅外熱發射顯微鏡_陜西天士立科技榮譽出品、鎖相紅外熱像儀/電性失效分析029-⑧⑧②②⑸⑸⑼⑴。貨期快，現貨試測，歡迎來電。
陜西天士立科技的微光顯微鏡EMMI、熱發射顯微鏡系統(Thermal Emission microscopy system)，是半導體失效分析和缺陷定位的常用的三大手段之一（EMMI,THERMAL,OBIRCH）,是通過接收故障點產生的熱輻射異常來定位故障點(熱點/Hot Spot)位置。
陜西天士立科技的微光顯微鏡EMMI、將鎖相技術和熱成像技術有機結合，獲得超過1mk以上的溫度分辨率，對uA漏電流或微短路等導致的缺陷，提供了非常好的解決方案。
陜西天士立科技的微光顯微鏡EMMI、實時瞬態鎖相紅外熱分析系統（RTTLIT)我公司的實時瞬態的鎖相分析儀可選雙波段，能同時具備EMMI（微光顯微鏡）和Thermal EMMI（熱紅外鎖相顯微鏡）雙功能，具備靈敏度和性價比。專注于芯片、電子電路、電路板、電子元器件等各種產品的失效分析，可用于分析短路失效、漏電失效、CAF失效、離子遷移等等。
1、近紅外相機
探測器：InGaAs（銦鎵砷）
像素大小：640*512
像元間距：20um
制冷溫度：10℃
曝光時間：16.7ms~33ms
2、金相顯微鏡
圖像：正像
瞳距：調節范圍 55-75mm
視場直徑：24mm
調焦機構：粗微調手輪，調焦行程：50mm；粗動手輪 4mm/轉；微動手輪
0.1mm/轉
物鏡轉換器：四孔物鏡轉換器，中心可調，可拆卸
3、近紅外物鏡
NIR5X：，數值孔徑 0.14，工作距離 37.5mm，景深 14um
NIR20X：數值孔徑 0.40，工作距離 20mm，景深 1.7um
NIR50X：數值孔徑 0.42，工作距離 17mm，景深 1.6um
4、探針（標配 4 組）
X-Y-Z 行程: 12mm x 12mm x 12mm
絲杠螺紋嚙合&微分頭驅動（自鎖止功能，彈簧抑制跳動）
移動精度 0.35um
支持開爾文針臂安裝、射頻支臂安裝
針尖直徑：5um
針桿類型：同軸 BNC（耐受電壓 500V）
5、氣浮臺
臺面尺寸：1200 mm × 900 mm × 200 mm
臺面高度：800mm
隔振方式：氣浮隔振
6、源表
電壓 200V
電流 1A接口類型：香蕉頭
7、電腦
12 代 CPU：Intel i7-12700
內存：32G
硬盤：1T 機械+240G 固態
操作系統：WIN10
電源：300W
顯卡：英偉達 T1000
顯示器：27 寸 4K 顯示器
配置鼠標、鍵盤
8、軟件功能
四象限畫面布局
鎖相 EMMI 計算開始、中止功能
圈選功能（范圍內max值、最小值、平均值、標準差）
數據、圖像保存、導入/導出功能
歷史暫存功能
直方圖均衡化
多階濾波降噪算法（中值、平滑、高斯）
IV 測量工具
網格計算功能
Overlay 疊圖功能
畫面距離量測功能
正面測量/背面測量畫面切換功能
3D 數據顯示功能
9、安裝要求
電源：230V±10%/50Hz，功率 2300W
真空：>50kPa
安裝空間：空間不小于 2 米*2 米
配置桌子
微光顯微鏡(Emission Microscope, EMMI)是一種相當有用分析工具。主要偵測IC內部所放出光子。在IC元件中，EHP(Electron Hole Pairs) Recombination會放出光子(Photon)。舉例說明:在P-N 結加偏壓，此時N阱的電子很容易擴散到P阱，而P的空穴也容易擴散至N然后與P端的空穴(或N端的電子)做 EHP Recombination。
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