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上海邁倍機電設(shè)備有限公司
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產(chǎn)品型號
品 牌
廠商性質(zhì)其他
所 在 地上海
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更新時間：2023-08-16 12:36:44瀏覽次數(shù)：141次
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可編程控制模塊簡易流量控制安裝在*的質(zhì)量流量測量基礎(chǔ)上，Compod™搭配了Sierra的Smart-Trak® 2質(zhì)量流量計或流量控制器使得設(shè)備網(wǎng)絡(luò)組態(tài)更加方便。通過開源RTU協(xié)議，Compod™也可以監(jiān)控或診斷流量控制器的內(nèi)部系統(tǒng)參數(shù)值。用戶在配備了Compod™后可以對Smart-Trak®質(zhì)量流量計和控制器進行更復(fù)雜的控制，兩路數(shù)字輸出和一路模擬輸入可以對以下工藝參數(shù)進行配置
? Gas mixing and blending
? Batch control
? Sensor driven leak testing
? Process monitoring
? Physical Vapor Deposition (Sputtering)
? 壓力監(jiān)控及控制
? 氣體比率控制
? 內(nèi)部閥門性能監(jiān)測
? 多報警信號設(shè)置
? 客戶自定義流量啟動停止配置
? 氣體累計及可調(diào)脈沖輸出設(shè)置
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