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行業(yè)產(chǎn)品

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湖南弘林科學(xué)儀器有限公司


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等離子清洗機(jī)V1000/1000X/1000XS

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產(chǎn)品型號(hào)V1000

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地長(zhǎng)沙市

聯(lián)系方式：李經(jīng)理查看聯(lián)系方式

更新時(shí)間：2023-05-23 12:06:54瀏覽次數(shù)：181次

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經(jīng)營(yíng)模式：其他

商鋪產(chǎn)品：13條

所在地區(qū)：

聯(lián)系人：李經(jīng)理

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

產(chǎn)品詳情高頻輸出100~1,000W（V1000）/100~1,000W280mm（V1000）300300mm（V1000X）400375mm（V1000XS）使用等離子的表面處理裝置

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品詳情

高頻輸出 100~1,000W（V1000）/100~1,000W&1,500W（V1000X/1000XS）

電極尺寸 280×280mm（V1000） 300×300mm（V1000X） 400×375mm（V1000XS）

使用等離子的表面處理裝置。著重于“使用簡(jiǎn)單”的臺(tái)式高性能型號(hào)，調(diào)取數(shù)據(jù)簡(jiǎn)單，以電子材料為中心，可對(duì)應(yīng)多種用途。


特征

● 可變更電極構(gòu)造提高等離子效果。
● 搭載高精度適配器，高性能RF 電源。
● 可根據(jù)需求規(guī)格提供定制。


用途
● 硅晶圓的灰化及蝕刻
● 基板表面污垢處理
● IC/LED封裝、BGA/CSP基板處理
● 半導(dǎo)體相關(guān)部品的電子材料的干式清洗
● 自然氧化膜·有機(jī)物去除
● 界面活性處理
● 表面污染物去除


內(nèi)槽

等離子清洗機(jī)V1000內(nèi)槽


規(guī)格

型號(hào)
 V1000
 V1000X
 V1000XS
等離子模式
 DP/RIE
高頻電源
 13.56MHz
輸出功率
 Max1000W
 Max1000 & 1500W
有效電極尺寸
W280×D280mm
 W300×D300mm
 W400×D375mm
電極
 平行平板
 2段電極（獨(dú)立）
 平板（多目的）
反應(yīng)氣體
 聚合控制器2系統(tǒng)（填充氣路另行安裝）
真空泵（標(biāo)配）
 約1000L/min
 約1500L/min
 1000 & 1500L/min
安全裝置
 門(mén)檢測(cè)開(kāi)關(guān)、聯(lián)鎖機(jī)構(gòu)、緊急停止開(kāi)關(guān)、溫度過(guò)升防止器等


管路連接圖

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