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華納創新（北京）科技有限公司


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Tousimis B系列臨界點干燥儀

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更新時間：2022-10-14 16:39:51瀏覽次數：687次

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商鋪產品：4條

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產品簡介

產品特點：專為MEMS（Micro-Electro-MechanicalSystem）制備而設計的臺式全自動臨界點干燥儀

詳細介紹


產品特點：

  • 專為MEMS（Micro-Electro-Mechanical System）制備而設計的臺式全自動臨界點干燥儀，防靜電無塵室適用

  • 標配不同尺寸晶圓架，每次可處理5個晶圓樣品

  • 標配樣品室內環套裝，適配不同的樣品尺寸，減少LCO2消耗，提高干燥效率

  • 高效絕熱冷卻系統，可快速降溫并在充液、吹掃時自動保溫

  • SOTER冷凝器用于分離乙醇和CO2，消除靜電及吹掃噪音

  • 內置壓力控制模塊，自動控制系統壓力和保持壓力穩定性

  • 外置0.5μm的LCO2過濾裝置，去除水、油和顆粒物

  • 內置吹掃后過濾器，可過濾LCO2內0.4μm以上雜質

  • 每個操作模式均有LED顯示，一目了然

  • 樣品室設有照明燈及觀察窗，便于觀察樣品狀態

  • 帶刻度的微型計量閥門控制LCO2流量

  • 微處理器控制，可全自動操作

  • 操作參數可重復設定，確保結果可重復性

  • 所有電氣部件符合UL、CE和U.S.Military標準


B系列干燥儀參數對比：


型號

（點擊下載PDF）

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Series B

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Series B

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Series B

產品編號
8779C8780C8785C
樣品室尺寸1.25"(內徑)×1.25"(深)4.5"(內徑)×1.25"(深)6.5"(內徑)×1.25"(深)
樣品室容積25 ml326 ml679 ml
樣品室內環-4", 3", 2", 1.25"6", 4", 3", 2", 1.25"
HF相容晶元架10mm4", 3", 2", 10mm6", 4", 3", 2", 10mm
設備尺寸35.6 x 26.0 x 54.6 cm36.2 x 29.8 x 63.5 cm36.2 x 29.8 x 63.5 cm
溫度壓力范圍- 30 ℃ ~ 60 ℃，0 ~ 2000 psi



標配附件：

  • 柔性高壓LCO2進液管線，3.0 m（無塵室）

  • 防靜電排空管線

  • 外置SOTER冷凝器（分離乙醇和CO2，消除靜電及吹掃噪音）

  • 樣品室內環（僅適用于915B與815B）可適配不同直徑晶圓

  • HF相容晶圓架（僅適用于915B與815B）與10mm方晶架，每個支架最多可放置5片晶圓樣品

  • 備用樣品室密封環（3），樣品室燈泡（2），保險絲（2）

  • 安裝工具組

  • 用戶說明書及數據表

  • 2年質保及終生免費技術支持

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