產品特點： 1、采用獨立的電腦控制機械臂自動化作業； 2、各槽配置獨立拋動系統，增加硅片和溶劑的摩擦。 3、各槽配置鼓泡管路，均采用PFA材質管件制作。 4、酸槽配置冷卻盤管，降低酸溶劑蒸發量；設置脊型缸蓋，杜絕酸蒸汽釋放到空氣中，缸蓋上設有噴淋系統。 5、設備槽體均采用PVDF 6mm板材制作，耐酸堿性強。 6、采用第三代，全面完善的防酸防腐措施，保護到機器每一個角落。 7、全自動補液技術，做到集中供酸和排放。配置接水盤，防止槽體漏液污染車間環境。 8、彩色大屏幕人機界面操作，方便參數設置及多工藝方式轉換本產品支持非標定制，可提供設計圖紙與清洗方案

詳細介紹

產品詳情

藍鯨半導體用機械臂式全自動超聲波清洗機，半導體超聲波清洗機作業流程：裝有產品的洗籃放置自動入料臺上，由PLC 控制進料系統定位再通過提升機構、平移機構的配合龍門機械手依次送入各工序段，對工件進行各工序段的清洗、漂洗、脫水、干燥完成后，通過傳動，自動將洗籃送出，人工卸下洗籃，即完成整個清洗過程。整機清洗部分為全封閉結構，裝有可拆卸的觀察檢修門。設備配電設施為獨立的電控柜放置進料口位置。經多年的設計制造經驗證明，結構合理，并配有超純水設備作為清洗水源是理想高潔凈度清洗專用設備。

半導體產業是現代電子工業的核心，而半導體產業的基礎是硅材料工業。雖然有各種各樣新型的半導體材料不斷出現，但 90%以上的半導體器件和電路，尤其是超大規模集成電路（ULSI）都是制作在高純優質的硅單晶拋光片和外延片上的。

應用范圍

半導體用機械臂式全自動超聲波清洗機，主要運用于機械、電子、珠寶、光學、醫藥、涂裝、汽保及真空鍍膜前期處理等相關類。對于表面形狀復雜的零部件，如零部件上面的凹槽、狹縫、盲孔、深孔的清洗有著高效快速的清洗作用。同時，能夠清洗掉零件表面油污、銹蝕及氧化物，實現粗洗漂洗烘干一站式處理。

半導體用機械臂式全自動超聲波清洗機應用范圍