負載：60KG
動態范圍：2300mm
控制柜：DX100
用途：搬運、潔凈室
特點
適用于第8代（2200*2500mm）超大型液晶玻璃基板的高速搬運。
高速、穩定搬運，提高生產效率。
高度柔性動作，大幅度削減配套設備費用。
長期保持高潔凈度，降低運營成本。
大幅縮短生產線建立時間。

*1：依據JIS B8432標準
*2：潔凈度依據ISO-14644標準。在0.4m/s以上的向下流風速環境下，來確保工件搬運面以上潔凈度。
*3：根據用途、作業形式會有所不同。