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蘇州中科科美科技有限公司
技術性能
1.濺射電壓:1.6KV;
2.金靶尺寸:Φ58mm;
3.真空檢測:皮氏計;
4.試樣臺尺寸:Φ40mm可同時放置6個樣品杯;
5.蒸發鍍玻璃隔離罩尺寸:內徑Φ100mm×高度140mm;
6.真空系統:直聯旋片真空泵2L/S;
7.真空保護20Pa,配有充氣調節閥調節真空;
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