堅膜無塵烤箱，半導體無塵烘箱

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更新時間：2022-05-08 12:01:19瀏覽次數：144次

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產品簡介

堅膜無塵烤箱，半導體無塵烘箱概述無塵烤箱用于高精度硅上薄膜電阻制造過程中堅膜工藝

詳細介紹

堅膜無塵烤箱，半導體無塵烘箱概述
無塵烤箱用于高精度硅上薄膜電阻制造過程中堅膜工藝。也用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤。
堅膜無塵烤箱，半導體無塵烘箱特點
1、烤箱用于半導體車間100級生產線；
2、設備能夠實現對CASETTE內硅片烘烤工藝；
3、全周氬焊，耐高溫硅膠破緊，SUS304#不銹鋼電熱生產器，防機臺本身所產生微塵；
4、開機后墻體內一直處于恒溫狀態；
5、強制送風循環方式，雙風道循環結構，溫度場分布均勻，智能P.I.D溫控系統，得到溫度控制精度；
6、操做人員放入產品后關門，點擊開始按鈕即可一鍵完成菜單工藝，完成后伴有聲光提示。
堅膜無塵烤箱，半導體無塵烘箱技術參數
1、無塵等級：Class 100;
2、溫度均勻度：±2℃;
3、溫度波動度：±0.5℃（空載）；
4、溫控精度：±0.1℃;
5、溫度范圍：RT+10-200/300℃;
6、升溫速率：≥8℃/min（可修改）；
7、內腔材質：SUS304＃鏡面不銹鋼；
8、外箱材質：優質冷軋板噴塑或SUS304＃不銹鋼；
9、密封條：耐高溫氟橡膠密封條；
10、氮氣裝置：可調式浮子流量計；
11、安全裝置：漏電保護，超溫保護，三色提示燈等。