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SSY-10000桌面裝載機系統

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產品型號

品       牌

廠商性質經銷商

所  在  地北京市

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更新時間：2019-11-07 14:18:31瀏覽次數：623次

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經營模式：經銷商

商鋪產品：21條

所在地區：北京北京市

聯系人：經理 （經理）

產品簡介

SSY-10000桌面裝載機系統搬運小尺寸晶圓的小型系統，可用于晶圓表面檢測，相對現有的手動設備，晶圓自動裝卸載系統能夠規避人工搬運晶圓的各種風險，維持產品質量的穩定，以及提高設備的生產效率

詳細介紹

SSY-10000桌面裝載機系統搬運小尺寸晶圓的小型系統，可用于晶圓表面檢測，相對現有的手動設備，晶圓自動裝卸載系統能夠規避人工搬運晶圓的各種風險，維持產品質量的穩定，以及提高設備的生產效率；

SSY-10000桌面裝載機系統

  • 能夠配套有的手動設備使用，小型化的外形尺寸設計以及較低的設備傳片高度非常適合于在桌面上的使用
  • 配備的Mapping傳感器能夠獲得片盒內的晶圓信息，并通過超薄設計的手指取放片盒內任意位置的晶圓
  • 透明的保護蓋以及Door Lock裝置的使用，可以有效地保證使用者的安全

 

應用設備實例

半導體生產線，實驗室

規格

對應片盒3寸晶圓Cassette
對應晶圓SEMI規格 3寸硅片
潔凈度ISO標準 Class 2（驅動裝置內部獨立排氣的條件下）
外形尺寸W380xD500xH420
重量35Kg
廠務電源：100V 1KVA
真空：優于-70kPa
*30 L/min以上的排氣能力


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