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深圳市衡鵬瑞和科技有限公司
·自動滾軸貼膜技術;
·手動放置和取出晶圓/承載環;
·自動膠膜進給和貼膜;
·支持各種膜類,包括預切割膜、非預切割膜、DAF膜、特種膜類;
·自動圓形切刀用于非預切割膜的切割;
·自動收卷襯紙,適用于UV膜和非UV膜;
AMW-08 AT半自動晶圓預切割膜貼膜機AMSEMI
——支持各種膜類,包括預切割膜、非預切割膜、DAF膜等。
AMW-08 AT半自動晶圓預切割膜貼膜機特點:
·自動滾軸貼膜技術;
·手動放置和取出晶圓/承載環;
·自動膠膜進給和貼膜;
·支持各種膜類,包括預切割膜、非預切割膜、DAF膜、特種膜類;
·自動圓形切刀用于非預切割膜的切割;
·自動收卷襯紙,適用于UV膜和非UV膜;
·晶圓臺盤溫度可編程控制,MAX可達120℃;
·標準8”晶圓臺盤用于8”晶圓,可配置金屬臺盤或高密度陶瓷臺盤;
·PLC控制,帶5.7”觸摸屏;
·配置光簾保護功能,和緊急停機按鈕;
·三色燈塔和蜂鳴器用于操作狀態監控;
AMSEMI AMW-08 AT半自動晶圓預切割膜貼膜機規格參數:
貼膜原理 自動滾軸貼膜技術;
晶圓直徑 8”&12”;
晶圓厚度 50~750微米;
晶圓種類 正常的V型缺口晶圓;
膜種類 預切割膜、DAF膜、非預切割膜、或者UV膜;
寬度:290毫米預切割膜/DAF膜;
320毫米UV/非UV膜;
長度:100米;
厚度:0.05~0.2毫米;
晶圓承載環 8”DISCO 或者K&S標準;
貼膜定位精度 ±1mm;
裝卸方式 手動晶圓/承載環放置與取出;
防靜電控制 去離子風扇;
臺盤溫度 室溫~ 120℃,可編程控制;
切割系統 環型切刀用于8”DISCO承載環;
控制單元 基于PLC 控制,帶5.7”觸摸屏;
安全防護 配置光簾保護和緊急停機按鈕;
電源電壓 單相交流電220V,16A;
壓縮空氣 60 PSI清潔干燥壓縮空氣,流量每分鐘2.5立方英尺;
機器結構 全鋁型材制造,堅固耐用;
機器外殼 白色噴塑金屬外殼;
體積 800毫米(寬)*1450毫米(深)*1980毫米(高);
凈重 350公斤;
AMW-08 AT半自動晶圓預切割膜貼膜機性能:
晶圓收益 ≥99.9%;
貼膜質量 沒有氣泡(不包括灰塵顆粒氣泡);
每小時產能 ≥80片晶圓;
MTBF >500小時;
MTTR <1小時;
停機時間 <3%;
AMSEMI矽旺半導體名稱及型號:
半自動晶圓貼膜機(減薄前) ATW-08/ATW-12
半自動晶圓撕膜機(減薄后) ADW-08 plus/ADW-08
半自動貼膜機 (基板切割) AMS-12
半自動晶圓貼膜機(預切割膜) AMW-08 AT
半自動晶圓貼膜機(切割膜) AMW-08/AMW-12
衡鵬供應
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