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當前位置:北京海富達科技有限公司>>泵>>勻膠機>> M294365臺式勻膠機 型號:CN61-KW-5
臺式勻膠機 型號:CN61-KW-5
技術參數及要求:變頻調速
基片尺寸:Φ100-Φ200mm(4 英寸~8 英寸)
轉速:500-5000 轉/分
轉速穩定性:±1%
旋涂均勻性:±5%
旋涂工藝階段:2 段
旋涂時間:Ⅰ速 0~18S;Ⅱ速 0~60S
整機尺寸(長寬高):425 mm×500 mm×300 mm
裸機尺寸(長寬高):425mm×500mm×190mm
電機功率:180W
適應材料:硅片、玻璃、石英、金屬、GaAs、GaN、InP 等各種材料
臺式勻膠機 型號:CN61-KW-5
技術參數及要求:變頻調速
基片尺寸:Φ100-Φ200mm(4 英寸~8 英寸)
轉速:500-5000 轉/分
轉速穩定性:±1%
旋涂均勻性:±5%
旋涂工藝階段:2 段
旋涂時間:Ⅰ速 0~18S;Ⅱ速 0~60S
整機尺寸(長寬高):425 mm×500 mm×300 mm
裸機尺寸(長寬高):425mm×500mm×190mm
電機功率:180W
適應材料:硅片、玻璃、石英、金屬、GaAs、GaN、InP 等各種材料
臺式勻膠機 型號:CN61-KW-5
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