連接相鄰表面以測(cè)量大于90°的角度

測(cè)量包含陡角的復(fù)雜曲面非常困難因?yàn)殛幱靶?yīng)會(huì)阻止您在單次采集中獲得完整的測(cè)量結(jié)果。有必要傾斜樣品以便從兩個(gè)不同的位置測(cè)量樣品并將兩個(gè)形貌結(jié)果組合以獲得完整的測(cè)量結(jié)果。

自由度，測(cè)量無(wú)限制

通過(guò)自動(dòng)化程序，只需單擊一下即可測(cè)量樣品的不同部分。友好的用戶界面允許您在沒(méi)有任何約束的情況下找到測(cè)量位置。然后關(guān)注樣品的關(guān)鍵部分并將其添加到自動(dòng)化例程中。最后點(diǎn)擊”獲取”，只需單擊一下即可獲得所有測(cè)量部件。這是一種自動(dòng)化測(cè)量程序的快速簡(jiǎn)便方法。

準(zhǔn)確可靠的表面光潔度測(cè)量

我們的共聚焦和干涉測(cè)量技術(shù)允許您測(cè)量具有任何級(jí)別的粗糙表面，從極粗糙(典金剛石或鏡面)。根據(jù)NPL、NIST和PTB 使用共聚焦技術(shù)和高數(shù)值 粗糙度標(biāo)準(zhǔn)，將我們的系統(tǒng)轉(zhuǎn)換為重復(fù)且 可追溯的系統(tǒng)。Ai多焦面疊加技術(shù)使系統(tǒng) 的切削刃半徑。
對(duì)測(cè)量大坡度提供了快速、簡(jiǎn)便地響應(yīng)。

非接觸評(píng)定
S neox 秉持了起初的設(shè)計(jì)目標(biāo)，作為一臺(tái)具有高性能的3D 光學(xué)輪廓儀，超越了現(xiàn)有的一切光學(xué)輪廓儀。S neox 結(jié)合了三大技術(shù)--共聚焦(于高斜率表面)、干涉(能提供的垂直分辨率)和Ai多焦面疊加(在短短幾秒內(nèi)測(cè)量形態(tài)特征)，將三大技術(shù)集成于同一傳感器頭中，且不采用任何移動(dòng)部件。

系統(tǒng)規(guī)格

測(cè)量原理:共聚焦,PSI,ePS,CS,AI多焦面疊加和膜厚

觀察模式:明場(chǎng),DIC彩色,共聚焦,干涉相位對(duì)比

相機(jī):5Mpx:2448x2048像素(可達(dá)180fps)

總放大倍數(shù):60X-21600X(27英寸顯示器)

顯示分辨率:0.001nm

視場(chǎng):0.113到16.8mm(單視場(chǎng))

臺(tái)階重復(fù)性:60.1%

臺(tái)階精度:60.5%

一般垂直掃描范圍:線性平臺(tái):40mm;5nm分辨率

精細(xì)垂直掃描范圍:PZT:200pm;0.5nm分辨率

Z測(cè)量范圍:PSI20pm;CS110mm;共聚焦&Ai多焦面疊加34mm

XY平臺(tái)范圍:手動(dòng):40x40mm;電動(dòng):114x75 mm,154x154mm,255x215 mm,302302mm

LED光源:紅(630nm);綠(530nm);藍(lán)(460nm)和白(575nm)

拼接張數(shù):10x12(高分辨率);175x175(500 Mpx)

物鏡轉(zhuǎn)盤:6孔電動(dòng)樣品

反射率:0.05%到 99%

樣品重量:高達(dá)25Kg

樣品高度:40mm(標(biāo)準(zhǔn)支架);150mm和350mm(選件)

SENSOFAR是一家科技企業(yè)，在形貌計(jì)量領(lǐng)域堅(jiān)持采用的質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)
Sensofar Metrology提供基于共聚焦、多焦面疊加和干涉技術(shù)的高精度光學(xué)輪廓儀，提供用于研發(fā)和質(zhì)量檢測(cè)實(shí)驗(yàn)室的標(biāo)準(zhǔn)系統(tǒng)到用于在線生產(chǎn)過(guò)程的完整非接觸式計(jì)量解決方案。Sensofar集團(tuán)總部位于巴塞羅那，也是歐洲的技術(shù)和創(chuàng)新中心。集團(tuán)通過(guò)基于戰(zhàn)略性分布的合作伙伴構(gòu)成的網(wǎng)絡(luò)在超過(guò)30個(gè)國(guó)家設(shè)有代表處并在亞洲、德國(guó)和美國(guó)擁有辦事處。