NanoCalc 薄膜反射測量系統(tǒng)
薄膜的光學(xué)特性主要有反射和干涉.NanoCalc薄膜反射測量系統(tǒng)可以用來進(jìn)行10nm~250µm的膜厚分析測量,對單層膜的分辨率為0.1nm。根據(jù)測量軟件的不同,可以分析單層或多層膜厚。
的兩種測量薄膜的特性的方法為光學(xué)反射和投射測量、橢圓光度法測量。NanoCalc利用反射原理進(jìn)行膜厚測量。
技術(shù)參數(shù)
入射角 | 90° |
層數(shù) | 3層以下 |
需要進(jìn)行參考值測量 | 是 |
透明材料 | 是 |
傳輸模式 | 是 |
粗糙材料 | 是 |
測量速度 | 100ms - 1s |
在線監(jiān)測 | 可以 |
公差(高度) | 參考值測量或準(zhǔn)直(74-UV) |
公差(角度) | 參考值測量 |
微黑子選項 | 配顯微鏡 |
顯示選項 | 配顯微鏡 |
定位選項 | 6"和12" XYZ 定位臺 |
真空 | 可以 |