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分子泵 LOW-E 生產(chǎn)線抽真空

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公司名稱伯東企業(yè)（上海）有限公司
品牌
型號
所在地深圳市
廠商性質(zhì)其他
更新時間2025/3/19 12:37:12
訪問次數(shù)30

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伯東公司成立于1953 年，范圍內(nèi)有一千七百名員工。伯東企業(yè)(上海)有限公司()主要從事半導體設備、電子零部件加工、銷售及相關(guān)服務工作，集團年營業(yè)額約為100億人民幣。伯東公司在國內(nèi)主要城市：北京、蘇州、廣州、深圳、成都及廈門設有營業(yè)據(jù)點。上海伯東真空產(chǎn)品事業(yè)部秉承為廣大中國客戶提供的真空產(chǎn)品、推動中國真空工藝發(fā)展、承擔企業(yè)社會責任為經(jīng)營理念，已累計為超過10,000家企業(yè)提供真空服務，覆蓋工業(yè)、半導體、鍍膜、科研和分析行業(yè)。上海伯東代理品牌包含：德國Pfeiffer 全系列真空產(chǎn)品、美國 KRI 離子源、美國Brooks Polycold 制冷機，美國HVA 真空閥門，美國 inTEST(Temptronic)高速溫度循環(huán)測試機，離子蝕刻機，真空鍍膜系統(tǒng)及配套真空零配件等。上海伯東作為國際真空品牌代理商，全權(quán)負責在中國地區(qū)的銷售和維修服務，99% 使用原廠進口零部件以及國外受訓維修工程師；擁有*的拆解，維修，校正能力并提供24小時在線服務。

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分子泵 LOW-E 生產(chǎn)線抽真空產(chǎn)品信息

Pfeiffer 分子泵在LOW-E（低輻射玻璃）生產(chǎn)線中的應用
LOW-E全名Low emissivity，是低輻射鍍膜玻璃。相對熱反射玻璃而言是一種新型節(jié)能玻璃。目前國際上普遍采用真空磁控濺射鍍膜技術(shù)（離線法）生產(chǎn)Low-E玻璃。伯東公司銷售的德國普發(fā) Pfeiffer 分子泵成功應用于此。

原理：玻璃垂直放置在架子上，送入10-1帕數(shù)量級的真空環(huán)境中，通入適量的工藝氣體（惰性氣體Ar或反應氣體O2、N2），并保持真空度穩(wěn)定。將靶材Ag、Si等嵌入陰極，并在與陰極垂直的水平方向置入磁場從而構(gòu)成磁控靶。以磁控靶為陰極，加上直流或交流電源，在高電壓的作用下，工藝氣體發(fā)生電離，形成等離子體。其中，電子在電場和磁場的共同作用下，進行高速螺旋運動，碰撞氣體分子，產(chǎn)生更多的正離子和電子；正離子在電場的作用下，達到一定的能量后撞擊陰極靶材，被濺射出的靶材沉積在玻璃基片上形成薄膜。為了形成均勻一致的膜層，陰極靶靠近玻璃表面來回移動。為了取得多層膜，必須使用多個陰極，每一個陰極均是在玻璃表面來回移動，形成一定的膜厚。

德國普發(fā) PFEIFFER 憑借其120多年的真空制造經(jīng)驗和范圍內(nèi)的售后服務和技術(shù)支持贏得LOW-E市場客戶的青睞，德國馮.阿登納(VON ARDENNE)是最典型的客戶。PFEIFFER 分子泵的LOE-E生產(chǎn)線使用在信義玻璃，南玻等中國玻璃制造。
Pfeiffer 分子泵優(yōu)點：