鍍膜工藝氣體分析儀 SPM 220
上海伯東德國普發 Pfeiffer 真空鍍膜工藝監測器 SPM 220 為鍍膜工藝的定性和定量氣體分析提供了的解決方案. 搭配 HiPace 渦輪分子泵組和專門開發的鍍膜工藝監測器離子源, 在高達 10-2 hPa 的壓力下, 實現了精確到分鐘的工藝氣體分析. Pfeiffer 同時提供一個帶有壓差孔板法蘭的型號供選擇, 可以實現在高達 10 hPa 的壓力范圍里進行直接的工藝氣體分析.
鍍膜工藝氣體分析儀 SPM 220 優勢
用于瞬時過程監測的鍍膜工藝監測器離子源
用于 H2, O2, H2O 和 CO2 的優秀檢測限
對測量結果的最小化背景影響
提供壓力高達 10 hPa 的壓差型號
多重操作允許帶單個 PC 的多個質譜儀系統進行數據評估
靈活集成的緊湊尺寸
通過各種數字和模擬輸入和輸出, 使系統集成方便而靈活
鍍膜工藝氣體分析儀 SPM 220 應用
半導體生產,玻璃鍍膜, 薄膜太陽能電池發電,研發
鍍膜工藝氣體監測質譜 SPM 220 組成：渦輪分子泵+四級桿質譜+離子源
鍍膜工藝氣體監測質譜 SPM 220 優勢：
鍍膜工藝監測器離子源，適用于瞬時過程監測
對氣體H2、O2、H2O 和 CO2 優秀檢測極限
對測量結果的最小化背景影響
壓力高達 10 hPa 的壓差版本
多重操作允許帶單個 PC 的多個質譜儀系統進行數據評估
緊湊設計，易于系統集成
通過各種數字和模擬輸入和輸出
Pfeiffer監測質譜 SPM 220 技術參數：
| SPM 系統控制 | BRU 220 | |
| 電壓 | 115-230 V | |
| 前級泵 | MVP 020-3 | |
| 四極控制 | QME 220 | |
| 帶 SPM 離子源的分析儀 | QMA 220 | |
| 探測器 | C-SEM/Faraday | |
| 桿系統：材料 | 不銹鋼 | |
| 桿系統：直徑 | 6 mm | |
| 桿系統：長度 | 100 mm | |
| 檢測極限（氬中）：二氧化碳 | < 100 ppb | |
| 檢測極限（氬中）：氧氣 | < 100 ppb | |
| 檢測極限（氬中）：氮 | < 100 ppb | |
| 檢測極限（氬中）：水 | < 3000 ppb | |
| 檢測極限（氬中）：水蒸氣 | < 500 ppb or < 6000 ppb | |
| 渦輪分子泵 | 帶有 TC 110 RS 的 HiPace 80 | |
| 質量數 | 1-100 amu or 1-200 amu | |
| 過程壓力至 | 1 hPa or 10 hPa or 8hPa | |
| 連接法蘭（入口） | DN 40 CF-F | |
| 重量 | 13 kg |
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