CDG045D.pdf
INFICON CDG045D電容膜片真空計(0.05 ...1000乇 / 毫巴)
INFICON SKY CDG045D 壓力計是您高精度總壓力測量和控制的zuijia選擇。CDG045D 儀表的溫度控制在 45 °C,具有出色的信號穩(wěn)定性和可重復(fù)性。它們可用于 50 mTorr 至 1000 Torr 的滿量程范圍,具有所有常見的法蘭類型和現(xiàn)場總線接口,并提供線性 0 至 10 V、與氣體類型無關(guān)的壓力信號。INFICON 電容壓力計使用耐腐蝕的超純氧化鋁陶瓷隔膜。陶瓷傳感器的優(yōu)點是信號穩(wěn)定性更好,從大氣中恢復(fù)更快,預(yù)熱時間短,使用壽命長。INFICON CDG 是高質(zhì)量、高性價比的壓力傳感器,適用于要求苛刻的真空應(yīng)用。
INFICON 的 CDG045D 是下面列出的部件號的直接直接替代產(chǎn)品,可根據(jù)要求提供許多其他插入式產(chǎn)品。
好處
與列出的真空計兼容
擁有成本更低,預(yù)熱速度快 50%,節(jié)能,低功耗
易于集成,各種滿刻度、法蘭和接口,標(biāo)配兩個設(shè)定點
輕松一鍵歸零或遠(yuǎn)程信號歸零指令,可調(diào)零點偏移
診斷端口便于快速服務(wù)與維護
兩年保修服務(wù),的加熱概念和真空計保護延長了使用壽命
zhuoyue的信號穩(wěn)定性和可重復(fù)性,即使是最嚴(yán)苛的等離子應(yīng)用,都無需長期執(zhí)行重新校準(zhǔn)
合規(guī)性和標(biāo)準(zhǔn):CE、EN、UL、SEMI、RoHS
新聞
現(xiàn)在提供 EtherCAT 數(shù)字接口!
典型應(yīng)用
蝕刻、CVD、PVD 及其他半導(dǎo)體生產(chǎn)過程
化學(xué)和腐蝕性真空過程
一般薄膜和真空過程
作為基準(zhǔn)儀器監(jiān)控測試儀器是否符合國際標(biāo)準(zhǔn)
符合傳遞標(biāo)準(zhǔn),確保測量可追溯性