Colibrys的MS9000慣性加速度傳感器是一種新的超小型產(chǎn)品，適用于惡劣的使用環(huán)境和耐用度要求的應(yīng)用領(lǐng)域。這種換代產(chǎn)品采用了LCC20(8.9mm x 8.9mm)陶瓷封裝，具有從±2g到±250g廣泛的加速度測量范圍。該傳感器可在較大的溫度范圍應(yīng)用并且全使用壽命器件零位穩(wěn)定保證在幾mg以內(nèi)。
Colibrys MS9000系列是一個(gè)電容式MEMS加速度計(jì)，它是由一個(gè)立體微加工工藝支撐的硅元件，一個(gè)低功耗ASIC專用信號(hào)處理器和一個(gè)存儲(chǔ)補(bǔ)償值的微控制器以及一個(gè)溫度傳感器等元件組成。該產(chǎn)品是一個(gè)低功耗的、校準(zhǔn)的、功能強(qiáng)大和性能穩(wěn)定的產(chǎn)品，其電子配置中帶有一個(gè)電源重置以防止電壓不穩(wěn)的全保護(hù)裝置。
產(chǎn)品特點(diǎn)：
█ LCC封裝 █測量范圍可定制 █優(yōu)異的偏差穩(wěn)定性 █低模擬電壓輸出█高抗沖擊性能 █集成溫度傳感器 █過電保護(hù)
應(yīng)用領(lǐng)域
█ 慣性測量：航天；航空與制導(dǎo)
█ 傾斜測量：運(yùn)輸；儀器儀表；鉆探
█ 振動(dòng)測量：地震測量；數(shù)據(jù)記錄儀
技術(shù)指標(biāo)
參數(shù) | 單位 | MS9002. | MS9010 | MS9030 | MS9050. | MS910D. | MS9250. | ||
全部測量范圍 | g | ±2g | ±10g | ±30g | ±50g | ±100g | ±250g | ||
封裝 | |||||||||
零位校準(zhǔn) | mg | <10 | <50 | <150 | < 250 | <500 | <1250 | ||
零位穩(wěn)定性(﹥48H) | mg typ. | <0.05 | <0.25 | <0.75 | < 1.25 | <2.25 | <6.25 | ||
開/關(guān)重復(fù)性 | mg max. | <0.15 | <0.75 | <1.5 | < 3.8 | <7.5 | <18.8 | ||
零位溫度系數(shù) | mg/℃ typ. | <0.1 ± | <0.5 | <1.5 | <2.5 | <5 | <12.5 | ||
mg/℃ max. | 0.4 | ± 2 | ±6 | ±10 | ±20 | ±50 | |||
比例因子(K1) | mV/g | 1000± 8 | 200± 2 | 66.6± 1 | 40±1 | 20±1 | 8±1 | ||
比例因子溫度系數(shù) | ppm /℃typ. | 100 | 100 | 100 | 100 | 100 | 100 | ||
min./ max. | -50/250 | -50/250 | -50/250 | -50/250 | -50/250 | -50/250 | |||
輸入軸偏心度（Kp，Ko） | mrad max. | <10 | <10 | <10 | <10 | <10 | <10 | ||
% max | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | |||
分辨率/閾值（@ 1Hz） | mg max. | < 0.1 | < 0.6 | < 1.7 | < 2.8 | < 5.5 | < 12.5 | ||
非線性度 | % of FS max. | < 0.8 | < 0.9 | < 0.9 | < 0.9 | < 1 | < 1 | ||
g max. | < 0.02 | < 0.09 | < 0.27 | < 0.50 | < 1 | < 2.5 | |||
帶寬 | Hz | 0～≥100 | 0～≥100 | , 0～≥100 | 0～≥100 | 0～≥100 | 0～≥100 | ||
噪聲譜密度[0;9kHz] | μV/√Hz typ. | 18 | 18 | 18 | 18 | 18 | 18 | ||
max. | 24 | 24 | 24 | 24 | 24 | 24 | |||
諧振頻率 | kHz | 1.4 | 3.7 | 6.3 | 11 | 15 | 26 | ||
供電電壓 | VDC | 2.5～5.5VDC,標(biāo)準(zhǔn)的校準(zhǔn)電壓為5.0VDC | |||||||
重量 | g | <1.5 | |||||||
尺寸 | mm | 標(biāo)準(zhǔn)值14.2X14.2X3.3mm，值14.48X14.48X3.79mm | |||||||
