產(chǎn)品介紹
顯微激光測(cè)振儀是一款全新的集多功能于一身的非接觸式振動(dòng)測(cè)量?jī)x器，也是一款可視化顯微測(cè)量分析的理想工具。它可以通過(guò)顯微光學(xué)系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)對(duì)微小物體的振動(dòng)測(cè)量，可以精確測(cè)量MEMS等微小結(jié)構(gòu)元器件的振動(dòng)和形貌，激光光斑達(dá)微米量級(jí)，并可通過(guò)顯微成像系統(tǒng)實(shí)時(shí)觀察物體的振動(dòng)狀態(tài)（頻率、速度、加速度、位移）等多維信息。
特點(diǎn)
1. 非接觸測(cè)量，無(wú)負(fù)載；
2. 激光光斑極小，微米級(jí)；
3. *的帶寬和動(dòng)態(tài)范圍；
4. 高空間分辨率；
5. 工作距離可選；
6. 高靈活性、易安裝、易操作；
7. 振動(dòng)傳感器結(jié)構(gòu)緊湊、性能穩(wěn)定、抗外力沖擊、測(cè)量精度高
8. 配有同軸照明裝置和相機(jī)，可以方便迅速地確定測(cè)量位置。
擴(kuò)展功能
1. 利用顯微鏡視頻閃頻技術(shù)測(cè)量物體面內(nèi)振動(dòng)特性(可定制)
2. 通過(guò)白光干涉測(cè)量物體形貌特性(可定制)
應(yīng)用領(lǐng)域
1 微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）動(dòng)態(tài)測(cè)試
2 生命科學(xué)、醫(yī)學(xué)、動(dòng)物學(xué)研究，如昆蟲等生物的活體的振動(dòng)特性測(cè)量
3 計(jì)算機(jī)外設(shè)的動(dòng)態(tài)測(cè)試：硬盤驅(qū)動(dòng)器、光盤機(jī)、磁帶機(jī)、頭/盤接口等；
4 超聲振動(dòng)測(cè)量
5 壓電陶瓷振動(dòng)測(cè)量
6 弦線/絲線振動(dòng)特性測(cè)量
7 微型陀螺儀振動(dòng)測(cè)量
| 顯微激光測(cè)振儀 LV-S01-M | |
| 工作溫度 | 3℃ - 45℃ |
| 工作濕度 | <90% |
| 電 源 | 220 - 240Vrms，50-60Hz |
| 激光波長(zhǎng) | He-Ne Laser 632.8nm |
| 激光安全等級(jí) | Class II |
| 速度量程 | 10m/s |
| 輸出電壓 | ±10V |
| 頻率范圍 | DC~3MHz |
| 濾波設(shè)置 | 高通低通濾波設(shè)置 |
| 線性誤差 | 1% |
| 機(jī) 架 （標(biāo)準(zhǔn)配置） | 反射用機(jī)架，低手位粗微同軸調(diào)焦機(jī)構(gòu)。 粗調(diào)行程25mm，微調(diào)精度0.001mm。 帶有防止下滑的調(diào)節(jié)松緊裝置和隨機(jī)上限位裝置。 內(nèi)置100-240V寬電壓系統(tǒng)。 |
| 光學(xué)參數(shù) | 檢測(cè)器尺寸：1/2 測(cè)量距離：9mm（使用10X物鏡時(shí)） |
| 觀測(cè)裝置 | CMOS數(shù)碼相機(jī)： 320萬(wàn)像素（USB2.0） |
| 位移分辨率 | 優(yōu)于15pm |
| 速度 | VD-16數(shù)字速度 |
| 位移 | DD-16數(shù)字位移、DD-21數(shù)字位移 |
﹡使用VD-16數(shù)字速度
﹡﹡使用DD-16、DD-21數(shù)字位移
| VD-16數(shù)字速度 Digital Velocity Decoders | ||
| 檔位 （mm/s/V） | 速度 （m/s，peak﹡） | 頻率范圍 （KHz） |
| 0.001 | 0.00001 | 0-2 |
| 0.005 | 0.00005 | 0-10 |
| 0.01 | 0.0001 | 0-80 |
| 0.05 | 0.0005 | 0-80 |
| 0.1 | 0.001 | 0-80 |
| 0.5 | 0.005 | 0-320 |
| 1 | 0.01 | 0-320 |
| 2 | 0.02 | 0-320 |
| 5 | 0.05 | 0-320 |
| 10 | 0.1 | 0-320 |
| 20 | 0.2 | 0-1000 |
| 50 | 0.5 | 0-3000 |
| 100 | 1 | 0-3000 |
| 200 | 2 | 0-3000 |
| 500 | 5 | 0-3000 |
| 1000 | 10 | 0-3000 |
﹡ 輸出電壓范圍±10V
| DD-16數(shù)字位移 Digital Displacement Decoders | ||
| 檔位 | 位移 | 頻率范圍 |
| （μm/V） | （μm，peak-peak﹡） | （KHz） |
| 0.05 | 1 | 0-3000 |
| 0.1 | 2 | 0-3000 |
| 0.2 | 4 | 0-3000 |
| 0.5 | 10 | 0-3000 |
| 1 | 20 | 0-3000 |
| 2 | 40 | 0-3000 |
| 5 | 100 | 0-3000 |
| 10 | 200 | 0-3000 |
| 20 | 400 | 0-3000 |
| 50 | 1000 | 0-3000 |
| 100 | 2000 | 0-3000 |
| 200 | 4000 | 0-3000 |
| 500 | 10000 | 0-3000 |
| 1000 | 20000 | 0-3000 |
| 2000 | 40000 | 0-3000 |
| 5000 | 100000 | 0-3000 |
﹡ 輸出電壓范圍±10V
| DD-21數(shù)字位移 Digital Displacement Decoders | ||
| 檔位 | 位移 | 頻率范圍 |
| （μm/V） | （μm，peak-peak﹡） | （KHz） |
| 0.05 | 1 | 0-3000 |
| 0.1 | 2 | 0-3000 |
| 0.2 | 4 | 0-3000 |
| 0.5 | 10 | 0-3000 |
| 1 | 20 | 0-3000 |
| 2 | 40 | 0-3000 |
| 5 | 100 | 0-3000 |
| 10 | 200 | 0-3000 |
| 20 | 400 | 0-3000 |
| 50 | 1000 | 0-3000 |
| 100 | 2000 | 0-3000 |
| 200 | 4000 | 0-3000 |
| 500 | 10000 | 0-3000 |
| 1000 | 20000 | 0-3000 |
| 2000 | 40000 | 0-3000 |
| 5000 | 100000 | 0-3000 |
| 10000 | 200000 | 0-3000 |
| 20000 | 400000 | 0-3000 |
| 50000 | 1000000 | 0-3000 |
| 100000 | 2000000 | 0-3000 |
| 200000 | 4000000 | 0-3000 |
﹡ 輸出電壓范圍±10V
