臭氧催化氧化法是一種有效去除含有復雜有機物，生物法難以降解廢水的方法，
臭氧催化劑催化原理介紹(一)
使難降解物環狀分子的部分環或長鏈分子斷裂，從而使大分子物質變成小分子物質，生成為易用于生化降解的物質，從而提高廢水的可生化性。
臭氧催化劑催化原理介紹(二)
使易降解的物氧化生成二氧化碳和水，降低廢水COD及TOC等指標。臭氧氧化工藝是廢水處理的上等氧化技術，一般與A/O、BAF、MBR等工藝聯用，確保廢水COD及TOC達排放指標，其核心部件為臭氧氧化催化劑。
臭氧催化氧化處理設備由催化氧化塔、臭氧發生器，反沖洗裝置構成，其中催化塔是主體部分，臭氧氣體與廢水從底部進入催化氧化塔后，上升經過催化床層，在催化作用下產生大量羥基自由基
臭氧經過過渡金屬離子作用下生成強氧化性的·OH，可將廢水中的大分子難降解有機物通過斷鏈、開環等方式轉化成小分子物質，再進一步礦化為二氧化碳和水，臭氧分解后產生氧氣，不會造成二次污染，處理廢水達標排放。催化氧化塔經過反沖洗裝置的汽、水聯合沖洗，將停留在塔內的顆粒污染物沖洗出來，保證催化劑催化效果。
優勢；
臭氧氧化是一種很好的化工廢水的處理方法，主要利用臭氧的強氧化性與水接觸反應生成的羥基自由基，對廢水中的有機物進行氧化處理，優點是氧化工藝設備自動化程度高，且反應過程不產生二次危險固廢，是新一代臭氧催化氧化的理想催化劑。
