儀器特點
四軸CNC控制,自動尋邊、自動測量、自動對焦
采用移動橋式精密花崗巖架構,滿足高精度,高穩定性
高精度0.5um分辨率進口開放光柵系統
全閉環伺服運動控制系統,速度快、精度高
搖桿/鼠標操作,可單獨或協同控制
表面光源為程控5環8區LED冷光源,平行輪廓光源,亮度均連續可調
根據客戶工件的具體情況,提供不同的照明組合
可聚焦測高,可加裝接觸式測頭和激光測頭模組
可以按照客戶需求提供定制化設計
技術參數
儀器特點
四軸CNC控制,自動尋邊、自動測量、自動對焦
采用移動橋式精密花崗巖架構,滿足高精度,高穩定性
高精度0.5um分辨率進口開放光柵系統
全閉環伺服運動控制系統,速度快、精度高
搖桿/鼠標操作,可單獨或協同控制
表面光源為程控5環8區LED冷光源,平行輪廓光源,亮度均連續可調
根據客戶工件的具體情況,提供不同的照明組合
可聚焦測高,可加裝接觸式測頭和激光測頭模組
可以按照客戶需求提供定制化設計
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