前烘氮氣烘箱,硬烘潔凈烘箱用途
前烘可在熱烘板或氮氣烘箱中進行,本課題采用的熱風烘箱為雋思氮氣潔凈烘箱,由于在鼓風烘箱中對流烘烤將會使前烘進行的更加均勻,所以在鼓風箱中前烘的效果將會更理想。
前烘是在涂膠結束后進行,它的作用有以下幾個方面
驅趕膠中的溶劑
提高膠對襯底的黏附性
提高膠的抗腐蝕能力
優化膠的光學吸收特性
提高涂膠的均勻性
提高條寬控制能力
通過前烘,基片上的光刻膠基本固化。
前烘氮氣烘箱,硬烘潔凈烘箱性能:
潔凈度:Class100;
溫度:RT+15~200℃;
氣體:N2
計時功能:0-99H99M99S
設備材質:內部SUS304不銹鋼
工作尺寸(mm):
450×450×450
500×500×550
(可定制)
網板:活動式2塊
前烘氮氣烘箱,硬烘潔凈烘箱適用性:
氮氣烘箱也適用于IC封裝、光刻膠固化、銀膠固化、電子液晶顯示、LCD、CMOS、MEMS、醫藥、實驗室等生產及科研.