光氧催化設備的組成由初過濾單元、紫外線燈、鎮流器、催化板(TiO2)等部件組成。能去除無益、異味氣體，初級電子在電場中獲得加速，撞擊空氣中的氧分子。當能量超過氧分子的電離電位時，氧分子速度適宜離子化.失去電子的氧分子變成正極性氧離子(O2+),而釋放的電子又與另一中性氧分子結合變成負極性氧離子(O2-)。
結果是氧離子的兩級分化并吸附中性氧分子形成O2+、O2-、O2等氧聚集的離子群,具有優良的氧化性,可在很短的時間內,將污染空氣中的無益成分,氧化分解為性能穩定的產物和水；
O2+e(3.6eV)→·O+O H2O+e(5.09eV)→·OH+HO+·OH→·OH2。
光氧催化設備內部結構也不復雜，是由一排一排的光氧管組成，設備分上下兩層，上層為電源層，工作時有4000v高壓，非電工或對微波不了解的人員切勿擅自維修或者操作；下層為無極燈光解區，工作時反應腔內有微波、強紫外線和高臭氧成分，信守合同可以打開反應腔門，設備的右側為操作電箱。
光氧催化設備也稱為光氧催化廢氣凈化器，其技術特點：
1．性能穩定實際效果為主，全部超過了傳統的臭氧等空氣凈化器，能在有人在場的環境中持續具體以實際為主、除塵，對人體性能穩定副作用。能廣譜地截獲殺滅空氣中的各類物質，測試證明對軍團菌、金顏色葡萄球菌、枯草桿菌、黑色變種芽孢及自然菌殺滅率達90％以上，效果優良去除可吸入顆粒，達到1-10萬級潔凈度。
2．取消污染無具體以臨床效果為主體異味，初級電子在電場中獲得加速，撞擊空氣中的氧分子。當能量超過氧分子的電離電位時氧分子速度適宜離子化。失去電子的氧分子變成正極性氧離子（O2），而釋放的電子又與另一中性氧分子結合變成負極性氧離子（O2－），結果是氧離子的兩級分化并吸附中性氧分子形成O2、O2－、O2等氧聚集的離子群，具有優良的氧化性，可在很短的時間內將污染空氣中的無益成分氧化分解為性能穩定的產物和水。
實踐證明，確定濃度污染空氣中的大部分無益物質能在很短的間內被氧化分解，轉化率平均在90％以上。
