產品功能介紹
Product Function Introduction
1. 6維電動直線軸和6維手動旋轉軸進行控制,特殊算法快速找到信號位置。
2. 兼容石英玻璃基和硅基芯片材料的耦合。
3. 流程化操作,各種類型的AWG產品都可以兼容耦合。
4. 單顆產品的自動找光時間<15秒. 耦合重復性<0.1dB。
5. 測試四通道中心波長的IL值,并保存到數據庫。
6. 具有調平衡優化功能,保證產品各通道的均勻性(uniformity)。
7. 采用距離傳感器,自動控制膠層距離(精度2μm ),保證重復性和一致性。
8. 操作簡單,對熟練員工沒有依賴性,員工只需通過CCD輔助調平行操作,新手員工培訓周期不超過1周。
系統性能指標 System Performance Index
軸 | X | Y | Z | θx | θy | θz |
移動量 | 20m | ±3℃ | ±10℃ | |||
分辨率 | 1µm/脈沖 | 33.8”/ 刻度 | 33.4”/ 刻度 | 33.4”/ 刻度 | ||
速度 | 20mm/sec | 15度/sec | ||||
單向定位精度 | 5µm | 1µm | ||||
重復定位精度 | ±0.3µm | ±0.005µm |