低溫等離子凈化器又稱低溫等離子廢氣凈化器，在電催化總的設計概念下，分三個即獨立又混成的激發系統：微波激發區、等離子激發區、極板激發區。每個激發區有它特定的功能，但在原理上有它相似的地方。

低溫等離子原理為：在外加電場的作用下，介質放電產生的大量攜能電子轟擊污染物分子，使其電離、解離和激發，然后便引發了一系列復雜的物理、化學反應，使復雜大分子污染物轉變為簡單小分子安然物質，或使性能穩定物質轉變成低毒低害的物質，從而使污染物得以降解去除。因其電離后產生的電子平均能量在10ev，適當控制反應條件可以實現一般情況下難以實現或速度很慢的化學反應變得好速度適宜。作為環境污染處理行業中的一項具有較強潛在優勢的技術，等離子體受到了眾多地區相關學科界的高度關注。

低溫等離子體技術在廢氣處理中的應用隨著工業經濟的發展，石油、制藥、油漆、印刷和涂料等行業產生的揮發性有機廢氣也日漸增多，這些廢氣不僅會在大氣中停留較長的時間，還會擴散和漂移到較遠的地方，給環境帶來嚴重的污染，這些廢氣吸入人體，直接對人體的健康產生很大的危害；另外工業煙氣的無控制排放使公共性的大氣環境日益惡化，酸雨(主要來源于工業排放的硫氧化物和氮氧化物)的危害引起了各國的重視。由于大氣受污染而酸化，導致了生態環境的破壞，重大災難頻繁發生，給人類造成了巨大損失。因此選擇一種經濟、可行性強的處理方法勢在必行。

低溫等離子凈化器廣泛應用于化工廠、橡膠廠、煉油廠、制藥廠、垃圾站等有廢氣產生的場合，此設備是利用能力好高臭氧UV紫外線光束分解空氣中的氧分子產生游離氧，即活性氧，進而產生臭氧。惡臭氣體利用排風設備輸入到UV低溫等離子凈化器后，運用能力好UV紫外線光束及臭氧對惡臭氣體進行協同分解氧化反應，使惡臭氣體物質其降解轉化成低分子化合物、水和二氧化碳，達到脫臭及殺滅 物質的目的，后通過排風管道排出室外。