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日立超高分辨場發射掃描電子顯微鏡Regulus系列

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具體成交價以合同協議為準

公司名稱諾賽德自動化設備（蘇州）有限公司
品牌
型號
所在地蘇州市
廠商性質其他
更新時間2023/7/20 11:01:02
訪問次數178

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公司介紹主營產品

諾賽德自動化設備（蘇州）有限公司專注于進口品牌測量儀器銷售和服務的公司，自創辦以來，一直致力于與行業內享有盛名的品牌合作，為客戶提供全面的進口品質測量解決方案。諾賽德自動化設備（蘇州）有限公司已形成以日立掃描電鏡、日立原子力顯微鏡、美國ZYGO白光干涉儀、美國KLA膜厚臺階儀、海克斯康影像儀等為代表的進口實驗室設備的產品結構。作為實驗室解決方案與精密測量的專業服務商，諾賽德自動化設備（蘇州）有限公司提供售前診斷、產品銷售及售后技術支持，目前服務的客戶500多家，主要涵蓋半導體元器件、材料、電子、院校、汽車、模具、機械、航天航空、、塑膠行業。諾賽德自動化設備（蘇州）有限公司匯聚世界測量品牌，集聚一批優秀的管理銷售人員，諾賽德自動化設備（蘇州）有限公司把世界各品牌的儀器帶到中國來，為推動中國科技的發展架起橋梁。進口品質測量解決方案作為實驗室解決方案與精密測量的專業服務商，諾賽德自動化設備（蘇州）有限公司提供售前診斷、產品銷售及售后技術支持，目前服務的客戶500多家，主要涵蓋半導體元器件、材料、電子、院校、汽車、模具、機械、航天航空、、塑膠等行業。產品結構專業化覆蓋性廣的經營網絡和專業化的營銷團隊，以開放的態度與國內外廠家進行合作，以日立掃描電鏡、日立原子力顯微鏡、美國ZYGO白光干涉儀、美國KLA膜厚臺階儀、海克斯康影像儀等為代表的進口實驗室設備的產品結構。

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光學輪廓儀

產品簡介在線詢價

產品介紹現有機型SU8240,SU8230,SU8220及SU8010重新整合，衍生而成Regulus8240、Regulus8230、Regulus8220、Regulus8100。

日立超高分辨場發射掃描電子顯微鏡Regulus系列產品信息

產品介紹：

現有機型SU8240,SU8230,SU8220及SU8010重新整合，衍生而成Regulus8240、Regulus8230、Regulus8220、Regulus8100。

"Regulus系列"繼承了現有機型的觀察和分析性能，配備SU8200系列的低噪音冷場發射電子槍*1，可以獲得高穩定的束流。

通過優化電子光學系統，Regulus8240/8230/8220在1 kV條件下分辨率提高到0.7 nm，Regulus8100的分辨率提高到0.8 nm。

此外，為充分發揮超高分辨的能力，放大倍率也從過去的100萬倍提升到200萬倍*1。

Regulus8240/8230/8220/8100還完善了用戶支持功能，通過此功能用戶更容易理解各種復雜信號的檢測原理，幫助用戶充分發揮儀器的性能。

*1 Regulus8240/8230/8220

產品特點：

沿用"SU8200系列"的冷場發射電子槍*2
采用電子束在Flashing后出現的高亮度穩定區域作為穩定觀察的區間，使得低加速電壓條件下兼備高分辨觀察和分析的性能
(Regulus8240/8230/8220: 0.7 nm/1 kV、Regulus8100: 0.8 nm/1 kV)
采用污染小、高真空樣品倉
運用能量過濾器(選配)，可觀察到多種成分對比度*2

*2 Regulus8240/8230/8220

產品規格：

項目			Regulus 8100	Regulus 8220	Regulus 8230	Regulus 8240
二次電子分辨率			0.7 nm （加速電壓15 kV）	0.6 nm（加速電壓 15 kV） 0.7 nm（著陸電壓 1 kV）*3
			0.8 nm （著陸電壓1 kV）*3
著陸電壓			0.1～2 kV	0.01～20 kV
放大倍率			20～1,000,000倍*4	20～2,000,000倍*4
樣品臺	樣品臺控制		3軸馬達臺（可選5軸馬達臺）	5軸馬達驅動
	移動范圍	X	0～50 mm	0～50 mm	0～110 mm	0～110 mm
		Y	0～50 mm	0～50 mm	0～110 mm	0～80 mm
		R	360°
		T	-5～70°
		Z	1.5～30 mm		1.5～40 mm
	再現性		-	-	-	±0.5 µm以下含
						±0.5 µm