防振臺 AVI-600S為隔振臺/輪廓儀隔振臺系統，高精密儀器隔振臺設備，高分辨率顯微鏡隔振臺系統，原子力顯微鏡隔振臺，隧道顯微鏡隔振系統，微納加工精密儀器主動隔振臺設備，超低頻隔振臺，低頻隔振，響應時間快。主動隔振頻率為 0.5Hz – 200Hz，被動隔振頻率>200Hz。
產品描述：
防振臺-主動減震臺-隔震臺AVI-600S是一款緊湊型、模塊化的六自由度隔振系統，用于抵消工作環境對靈敏度高的精密設備產生的不必要振動，以提高精密設備的性能，具有的性能及通用性。該隔振臺的主動隔振頻率為 0.5Hz – 200Hz，被動隔振頻率>200Hz，其能夠整合到現有的需要低頻隔振的設備中，主動檢測輸入振動并動態消除；允許自由選擇整個系統的尺寸和配置，可通過增加隔振模塊的數量來支持更大的儀器載重量。安裝簡單，易操作，穩定性高，能連續使用多年！
為各類光學顯微鏡主動防振臺-干涉儀主動防震臺-電子天平防振臺-輪廓儀防震臺-半導體設備主動防震臺-激光設備防振臺-微納加工精密儀器防振系統。優點：六軸方向自由度隔防振臺，超低頻負剛度防震臺，高負載主動防震臺。
工作原理：
AVI-600S主動減震臺使用電氣控制，通過對傳入振動施加反方向的力來立即消除振動。傳感器不斷監測振動，并基于該信息，執行器沿相反方向產生作用力，并繼續產生的振動隔離狀態。主動式隔振臺擅長于10Hz以下的低頻范圍內的隔振。
AVI系列主動減震臺-隔震臺采用*的隔振技術，適用于任何研究情況下，可以隔離6個自由度方向上的振動，包括水平和垂直方向。AVI系列平臺利用控制器內的壓電加速度傳感器來傳感外界傳入的振動，通過將外界的壓力信息轉換為電信號發送至隔離模塊中的壓電換能器中，然后改換能器產生一個與傳入壓力大小相等，相位相反的壓力信號來消除傳入振動。隔振系統利用一個反饋回路來消除隔振系統的機械共振。可為實驗室中對震動敏感的設備如電鏡，光學器件等精密儀器隔離來自地面的震動，提供穩定的測試環境。
產品亮點： - 六個空間方向自由隔振(0.5Hz – 200Hz主動隔振, >200Hz被動隔振)
- 5-20ms響應時間
- 低頻隔振性能優異,安裝和使用簡單
- 系統主動檢測輸入振動并動態消除
- 緊湊、模塊化的多功能設計
- 穩定性高，能連續使用多年
- 無低頻共振、無空氣要求
應用范圍：
- 超高真空掃描探針顯微鏡（UHV-SPM）
- 光刻工具
- 高精度計量工具
- 光譜儀器
技術參數：
- 型號：AVI-600S/LP
- 系統配置：獨立隔振裝置 & 控制裝置
- 主動隔振范圍：大致為1.0 Hz – 200 Hz
- 被動隔振范圍:大致為200 Hz以上
- 顯示屏信號:多路復用信號用于示波器顯示器包含和不含隔振的振動水平。
- LEDs 指示輸出階段的過載情況。
- 單元尺寸(每個):288 x 396 x 112.5 Hmm
- 控制器尺寸:448 x 286 x 143 Hmm
- 隔振單元重量: 23kg
- 負載能力:1200 kg (同等/低重心)
- 輸入電壓: 90 – 125 VAC / 200 – 250 VAC, 50 – 60 Hz
- 功耗：通常27W
- 校正力：水平12N，垂直24N
- 系統噪音：0.1-200Hz任何方向上低于50nG/√Hz
- 靜態柔度：垂直約1µm/N，水平約2 µm/N
- 溫度范圍：5℃ – 40℃
- 相對濕度：10 – 90 % (5 – 30 ℃)?10 – 60 % (30 – 40 ℃)
- 室內/室外使用：僅用于室內
升級選項：
- AVI 600S 隔震臺可與LFS低頻穩定器配套使用來增強低頻隔振效果，隔振頻率低頻段延伸至0.5Hz。
隔振效果：
性能對比圖：AFM 的研究人員在兩種條件下進行成像： 不含隔振系統和包含TS 系列防振臺。當使用TS系列隔振臺搭載AFM時，所得圖像表明圖像質量和整體測量清晰度得到大幅提升。
