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提高晶圓產量可以從清潔水質開始。超純水是精密元器件生產質量的重要保證。目前,電子晶圓行業超純水設備大多采用反滲透+EDI+拋光混床的生產工藝。這是一種環境友好、經濟且有潛力的超純水制備工藝。與傳統超純水制備工藝相比,該工藝再生不需要回收化學品。EDI水處理工藝不需要添加任何化學品,減少了化學品的運輸,降低了系統的運行成本。不需要中和劑。EDI膜塊不產生酸堿廢液,不需要酸堿中和罐。EDI水處理系統產生的濃縮水一般可以回收利用。整個系統的運行成本較低。EDI電子晶圓行業超純水設備主要消耗電力維持系統運行,低于傳統混床工藝。水資源利用率高。與混床工藝相比,EDI電子晶圓行業超純水設備的水利用率可達95~99%,有效提高了水資源的利用率。EDI電子晶圓行業超純水設備無需更換樹脂即可連續工作,自動化程度高,無需人工操作。EDI電子晶圓行業超純水設備結構緊湊,占地面積小,安裝方便。