PFA花籃
PFA花籃（PFA wafer Cassette） 又名 清洗花藍 ，鐵氟龍卡匣 ， 鐵氟龍晶舟盒 ，鐵氟龍晶圓盒為承載半導體晶圓片/硅片的容器，耐酸耐堿耐腐蝕(強酸、強氟酸、強堿)，能做激光雕刻，能夠安裝RFID。保持載體和物料的跟蹤。
主要用于半導體蝕刻部門之酸堿制程中使用、傳送晶圓。我司PFA花籃，進入化學酸、堿蝕刻制程中，可搭配PFA把手使用。
二、參數
名稱 | 規格 | 耐溫性 | 應用 |
PFA花籃 PP Cassette
| 2寸 | -200~260℃ | 酸堿傳輸制程 |
4寸 | |||
6寸 |
三、特點
1.耐腐蝕：耐受強酸強堿
2.搭配可活動把手，用于晶圓芯片清洗運輸
3.耐高低溫：-200~260℃
4.耐絕緣：介電性能與溫度、頻率無關；
5.防污染：本底值低，金屬元素鉛鈾含量小于0.01ppb；
6.低的溶出和析出，確保晶圓芯片無污染
7.化學性能穩定
產品名稱:2個″特富龍卡帶/ PFA卡帶
尺寸:142.1 (L) * 67.08 (W) * 59 (H)毫米
重量:194.5克
容量:25PCS
晶圓尺寸:2寸(?50mm)厚度0.5mm~0.7mm
材料:聚四氟乙烯/ PFA
槽距:4.76毫米
產品名稱:4″特富龍卡帶/ PFA卡帶
尺寸:125 (L) * 140 (W) * 113 (H)毫米
重量:571克
能力:25PCS
晶圓尺寸:4寸(?100mm)厚度0.5mm~0.7mm
材料:聚四氟乙烯/ PFA
槽距:4.76毫米
產品名稱:6″特富龍卡帶/ PFA卡帶
尺寸:179 (L) * 147 (W) * 175 (H)毫米
重量:1045.4克
能力:25PCS
晶圓尺寸:6英寸(?150mm)
材料:聚四氟乙烯/ PFA
槽距:4.76毫米
產品名稱:8″特富龍卡帶/ PFA卡帶
尺寸:233 (L) * 220 (W) * 225 (H)毫米
重量:1407克
能力:25PCS
晶圓尺寸:8英寸(?200mm)
材料:聚四氟乙烯/ PFA
