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大連索尼卡電子有限公司
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用于精確的測量氣體的流量，具有不因溫度或壓力的波動而失準、重復性好、自動測量、工作壓力范圍寬，大流量分流器不易堵塞等特點。
用于精確的測量氣體的流量，具有不因溫度或壓力的波動而失準、重復性好、自動測量、工作壓力范圍寬，大流量分流器不易堵塞等特點。
| 【性能特點】 | |||
●量程： | 5、10、20、30、50、100、200、300、500SCCM、1、2、3、5、10SLM | ||
●準確度： | ±1% F.S | | |
●線性： | ±0.5～1% F.S | ||
| ●重復精度： | ±0.2% F.S | ||
| ●響應時間： | 10S | ||
| ●氣壓降： | <0.01MP | ||
| ●zui大壓力： | 10MP | ||
| ●工作環境溫度： | 5～45℃ | ||
| ●輸出信號： | 0～+5.00V | 管道熱式質量流量計 | |
| ●電源： | +15V 50mA -15V 200mA | ||
| ●外形尺寸： | 158.7＊60＊198，161.7＊60＊198可選 |  | |
| ●重量： | 2.5 Kg | ||
| ●防爆等級： | Exd II BT6 | ||
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