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四川英杰電氣有限公司
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四川英杰電氣有限公司
| 參 考 價(jià) | 面議 |
產(chǎn)品型號(hào)
品 牌
廠(chǎng)商性質(zhì)經(jīng)銷(xiāo)商
所 在 地德陽(yáng)市
聯(lián)系方式：吳先生查看聯(lián)系方式
更新時(shí)間：2024-10-24 13:52:31瀏覽次數(shù)：93次
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經(jīng)營(yíng)模式：經(jīng)銷(xiāo)商
商鋪產(chǎn)品：42條
所在地區(qū)：四川
聯(lián)系人：吳先生 （經(jīng)理）
適用于光伏產(chǎn)業(yè)、平板顯示器行業(yè)、半導(dǎo)體行業(yè)、化工業(yè)、實(shí)驗(yàn)室、科研、制造業(yè)等領(lǐng)域。適用于等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積（PECVD)、等離子體刻蝕、等離子體清洗、射頻離子源、等離子體擴(kuò)散、等離子體聚合濺射、反應(yīng)濺射等工藝。
● 全數(shù)字控制，匹配精度高，匹配時(shí)間短
● 采用真空電容，可靠性高，使用壽命長(zhǎng)
● 結(jié)構(gòu)緊湊，體積小，安裝便捷
● 超寬匹配范圍，可定制適配任意負(fù)載
● 具有手動(dòng)/自動(dòng)匹配功能
● 具有保持和預(yù)置設(shè)定功能
● 具有通訊功能，可獨(dú)立連接上位機(jī)實(shí)時(shí)顯示負(fù)載狀態(tài)
| 輸入 | 控制電壓：AC230V±10% 或 DC24V | 輸入接口：N型、HN、7/16 |
| 頻率：13.56MHz、27.12MHz、40.68MHz | 傳輸功率：1.5kW～6kW | |
| 射頻輸出電壓：4000Vpeak | 射頻輸出電流：25Arms～120Arms | |
| 輸出 | 輸出接口：7/16、B20N、銅排, 其他規(guī)格可定制 |
|
| 性能指標(biāo) | 匹配時(shí)間：A系：端對(duì)端＜5s ,預(yù)設(shè)點(diǎn)到匹配點(diǎn) 1s~3s | 駐波：A系：＜1.2 C系：＜1.1 |
| 阻抗實(shí)部：1Ω～200Ω | 阻抗虛部：+200j～-200j | |
| 負(fù)載類(lèi)型：IPC 或CCP | 外形尺寸：根據(jù)客戶(hù)要求定制 | |
| 注：產(chǎn)品不斷創(chuàng)新，性能繼續(xù)提升，本參數(shù)說(shuō)明僅供參考。 | ||
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