精密探針臺 探針測試臺 半導體材料產品參數
◆ 臺體規格
尺寸：6英寸/8英寸/12英寸；
水平旋轉：可360°旋轉，可微調15°，精度0.1°，帶角度鎖死裝置；
X-Y移動行程：6英寸×6英寸/8英寸×8英寸/12英寸×12英寸；
X-Y移動精度：10μm/1μm；
樣品固定：真空吸附，中心吸附孔，多圈吸附環；
針座平臺：U型針座平臺，最多可放置6~12個探針座；
平臺升降：可快速升降10mm/可微調升降10mm；
背電極測試：樣品臺電學獨立懸空，4mm插孔可接背電極；
溫度范圍：-80℃~+400℃；
溫度精度：0.01℃/0.1℃/1℃；
尺寸：840mm長*600mm寬*700mm高/950mm長*700mm寬*700mm高；
設備重量：約40/60KG；
◆ 光學系統
顯微鏡類型：單筒顯微鏡/體式顯微鏡/金相顯微鏡；
放大倍率：16X-200X/20X-4000X；
移動行程：水平方向繞立柱旋轉/XY軸移動4英寸，Z軸行程50.8mm；
光源：外置LED環形光源/同軸光源；
CCD：200萬像素/500萬像素/1200萬像素；
◆ 定位器
X-Y-Z移動行程：12mm*12mm*12mm；
移動精度：10μm/2μm/0.7μm/0.5μm；
吸附方式：磁力吸附/真空吸附；
線纜：同軸線/三軸線；
漏電精度：10pA/100fA/10fA；
固定探針：彈簧固定/管狀固定；
接頭類型：BNC/三軸/香蕉頭/鱷魚夾/接線端子；
針尖直徑：0.2μm/1μm/2μm/5μm/10μm/20μm；
針尖材質：鎢鋼；鈹銅；
◆ 探針可選配件
加熱臺；
顯示器；
轉接頭；
射頻測試配件；
屏蔽箱；
光學平臺；
鍍金卡盤；
光電測試配件；
顯微鏡快速傾仰裝置；
激光系統；
探針卡夾具；
精密探針臺 探針測試臺 半導體材料產品特點
◆ 可用于12英寸以內樣品測試；
◆ 采用密閉腔結構，屏蔽外部電信干擾同時保持氮氣正壓環境下樣品在低溫時無結霜；
◆ 優化的腔體保溫結構可以極大的減少液氮消耗量；
◆ 可升降調節適合加裝探針卡；
◆ 可搭配多種類型顯微鏡；
◆ 結構模塊化設計，可無縫升級；
◆ 探針臺可根據客戶要求定制。
