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北京彼奧德電子技術有限公司
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簡要描述： MFC-08在線配氣裝置，應用高精度質量流量計對氣體流量進行控制，通過高性能氣體混合罐實現氣體均勻混合，通過軟件可針對每路氣體的流量進行調節(jié)和控制，并可進行配氣應用方案設計，實現不同時間段配氣濃度的自動調節(jié)。具備配氣精度高、應用靈活、智能化等多個特點
■ 產品介紹
MFC-08在線配氣裝置，應用高精度質量流量計對氣體流量進行控制，通過高性能氣體混合罐實現氣體均勻混合，通過軟件可針對每路氣體的流量進行調節(jié)和控制，并可進行配氣應用方案設計，實現不同時間段配氣濃度的自動調節(jié)。具備配氣精度高、應用靈活、智能化等多個特點
■ 產品功能
1、1-8組氣體的流量輸出控制
2、2-8組氣體的在線均勻混合
3、配氣方案智能控制，可對各組氣體流量進行程序控制，可使各組氣體流量根據預設程序進行調控
4、多種配氣方式可選
5、可外接各類儀器、反應器等
6、混合、獨立等多種氣路外接方式
7、氣體預熱功能
8、智能氣路清洗功能
混氣裝置：采用異形氣體混合倉與氣體擾流板技術
控制系統(tǒng)：全自動控制，并可對配氣方案進行程序控制，實現流量、使用氣體、使用時間的隨意編程
氣路系統(tǒng)：使用316L不銹鋼管路及卡套式連接方式，使系統(tǒng)耐腐蝕、氣密性好
氣路控制系統(tǒng)：使用日本SMC電磁閥，并為每個氣路設置單向閥，已防止氣體逆行，所有電磁閥均由軟件控制配氣方案，可根據求，實現對每組氣體的流量進行編程調整，即流量的多段控制
應用氣體：NH3、N2、C3H8、C2H2、C3H4、SO2、CO2、NO2、CH4、Kr、HCl、O2、H2、NO、CO等
流量控制：0~200mL/min、100~500mL/min、500~1000mL/min 可選
工作壓差：(0.1 ~ 0.5) MPa
工作耐壓：3MPa
重復精度：±0.2%
工作精度：±1%
工作溫度：5 ℃ ~ 45 ℃
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