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本儀器為非接觸,非損傷測試;主要利用渦電流測試原理,非接觸測試半導體材料,石墨烯,透明導電膜,碳納米管,金屬等材料的電學特性。
主要利用電容探測技術,進行高精度無接觸的檢測。非接觸式測試半導體材料、石墨烯、透明導電膜、碳納米管、金屬等材料的厚度特性。
二、主要特點
本儀器為非接觸,非損傷測試,具有測試速度快,重復性佳,測試敏感性高,可以直接測試產品片等優
本儀器為非接觸,非損傷測試;主要利用渦電流測試原理,非接觸測試半導體材料,石墨烯,透明導電膜,碳納米管,金屬等材料的電學特性。
1) 方阻探頭:
由于電阻率范圍較大,需要采用兩中規格探頭,如下:
中量程(上下探頭,0.02-1.5Ω*cm,厚度約700um)
高量程(上下探頭,1.0-100Ω*cm,厚度約700um)
2) PN探頭:
測試樣片PN類型
3) 多點測試平臺
由于方阻探頭采用上下兩個探頭,因此采用探頭固定,晶圓平移及旋轉的方式,來進行多點的面測試
4) 厚度探頭(選配,可采用手動輸入已知厚度的方式)
量程(200um - 1000um),主要用于將方阻探頭數據轉換為電阻率
5) OCR晶圓ID識別(選配)
自動識別Wafer編碼信息
參數 | 探頭 | 說明 | |
組成 | 方阻探頭(中) (高) | 方法:非接觸式渦流法(兩組) 范圍:0.1 - 100Ω*cm(Tk≈750um) 重復性:<1% 示值誤差:<±3% 單點測量時間:< 1秒 去邊:7mm | 型號:ER-PN-1000 (九域半導體科技) |
PN探頭 | 方法:非接觸式SPV法 單點測量時間:< 1秒 誤判斷 < 0.02% | ||
測試平臺 | 軟件控制啟動,自動移動至探頭待測位置,設備自動測量 | ||
厚度探頭 (選配) | 方法:電容法 范圍:200um - 1000um 重復性: <1% 示值誤差:<±5um 單點測量時間:< 1秒 | ||
OCR (選配) | 廠商:美國 COGNEX 型號:IN-SIGHT 1740系列晶圓讀碼器 | ||
主機 | DELL(windows 10)+23寸顯示屏 專用數據分析軟件(記錄、質控、Mapping) 可接入MES系統 | ||
測量過程 | 1、 放置Wafer至樣品臺 2、 軟件設置測量點位 3、軟件控制啟動,自動移動至探頭待測位置,設備自動測量 4、數據(包括PN 和 方阻、厚度、電阻率)、記錄、質控、輸出文件等 5、根據客戶需求可定制MES系統 | ||
Wafer信息 | 尺寸:4"-12" 厚度:典型范圍:200um-1000um | ||
碎片率 | <1/10000(有暗裂等機臺外部因素引起的碎片除外) | ||
月平均時間 | 平均時間>685H(30天計算) | ||
額定功率 | 36W(數據分析模組) + 250W(電腦) | ||
產能 | 每片晶片測試37個點,用時60s(不包括換片操作時間) | ||
環境溫度 | 23 ±5°C | ||
電源要求 | 額定電壓(220±22)VAC 頻率(50±1)Hz | ||
提供標樣 | 標準片:1片(4寸),電阻率范圍1Ω*cm - 10Ω*cm | ||
驗收判定 | n 測試條件:設備正常運行后,不低于10片的Wafer進行測試 n 設備性能:滿足上述量程內重復性及準確性標準 |
三、 軟件功能
3.1系統預裝正版Windows 10專業版操作系統
3.2設備安裝自主產權測試應用軟件
3.3測試方塊電阻,電導,電阻率(須輸入厚度數據)
3.4軟件具備SPC統計功能
3.5可輸入并保存設備編號,批次號,樣品號,操作員號
3.6可生成PDF版測試報告,報告包含SPC統計數據以及掃描圖
3.7可調用/新建測試菜單
3.8用戶可設定測試上限,下限值
3.9可記錄樣品測試開始時間,結束時間
3.10所有測試信息至少保留1個月以上
四、儀器使用環境
l 環境溫度:23 ±5°C
l 環境濕度:(65±20)%RH
l 電源要求:額定電壓(220±22)VAC 頻率(50±1)Hz
五、安裝與驗收
1) 物流運輸;
2) 儀器至甲方后,乙方在得到甲方通知后(最遲甲方簽收儀器后5個工作日),上門為甲方安裝通電并協助甲方驗收;
3) 驗收標準:以本協議第2項技術參數中的“驗收判定"內容實施現場驗收;
4) 驗收合格后甲方為乙方簽字確認。
六、技術支持與培訓
1) 乙方提供7*12h在線技術支持,2小時內回饋;
2) 乙方負責在驗收過程中對甲方技術人員現場技術培訓;
3) 在質保期內,乙方為甲方提供全套免費技術服務,不限于更換備件等;質保期后,若非人為損壞儀器的維修服務,乙方只收取硬件成本費用;
4) 乙方免費協助甲方將儀器數據對接至甲方MES系統,若需增加硬件則無需甲方承擔費用。
七、質保期
本儀器,乙方提供自驗收之日起1年質保;
八、發貨備件清單
序號 | 名稱 | 數量 |
1 | 測試儀 | 1臺 |
2 | 電源線 | 1條 |
3 | 電腦(Windows正版、數據GHOST備份) | 1臺 |
4 | 通訊線 | 1條 |
5 | Windows 10專業版操作系統 | 1 |
6 | 專用測試軟件 | 1 |
7 | 說明書 | 1本 |
8 | 出廠合格證 | 1個 |
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