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深圳市科銳詩汀科技有限公司
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BPG402-S.pdfINFICONBPG402-SB-A型皮拉尼真空計(大氣壓至超高真空)INFICONB-A型皮拉尼復合真空計，BPG402-S，將兩種真空計集成在一個簡單小型的單元內，測量范圍從5X10-10毫巴至大氣壓（3.8X10-10乇至大氣壓）
BPG402-S.pdf
INFICON BPG402-S B-A型皮拉尼真空計(大氣壓至超高真空)
INFICON B-A型皮拉尼復合真空計，BPG402-S，將兩種真空計集成在一個簡單小型的單元內，測量范圍從5X10-10毫巴至大氣壓（3.8X10-10乇至大氣壓）。復合技術降低了安裝，設置和集成的復雜性。選擇一個經濟型規管內的BPG402-S帶有兩根敷涂銥的氧化釔燈絲，用于普及和可再現過程中的基本壓強測量。當更換傳感器時，帶有在機校準數據的傳感元件保證高度的重復性。
這種 Bayard 熱電離（雙絲極）皮拉尼結合真空計 BPG402-S 系列直接取代 ITR 200 系列熱電離皮拉尼發射器：
好處
從 5 x 10-10 mbar 至大氣氣壓（3.8 x 10-10 Torr 至大氣氣壓）的極其寬泛的測量范圍
在 10-8 ...10-2 mbar 5% 工藝壓力范圍內為表現出優秀的重復性
皮拉尼聯鎖保護絲極，防止過早燒毀
雙長使用壽命氧化釔銥絲
備有可選的圖形顯示器和現場總線接口
高真空皮拉尼自動調節，減少操作員的干預
傳感元件帶有板載校準數據，易于更換，可保證高再現性
符合 RoHS 標準
新！ 現在提供 EtherCAT 數字接口！
對半導體過程和傳輸腔室的壓力測量
工業鍍膜
低真空至超高真空范圍內的一般真空測量和控制
*性：
1、 極寬的測量范圍從5X10-10毫巴至大氣壓（3.8X10-10乇至大氣壓）
2、 的重復性，過程壓強范圍從10-8…10-2毫巴均為5%
3、 皮拉尼聯鎖保護B-A型系統，防止燈絲過早燒毀和高壓強運行產生污染
4、 兩根敷涂銥的氧化釔長壽燈絲
5、 可選圖形顯示和Fieldbus接口
6、 自動高真空皮拉尼調整，減少操作人員的干預
7、 易于更換傳感元件，帶有在機校準數據保證高度的重復性
8、 符合RoHS
用途：
1、 半導體工藝過程和傳輸室中的壓強測量
2、 工業鍍膜
3、 從低至超高真空范圍的一般真空測量和控制
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