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深圳市科銳詩汀科技有限公司
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CDG025D-X3.pdfCDG025D-X3電容膜片真空計（0.1...1000乇/毫巴）SKY®CDG025D-X30.1...1000TORR/MBAR過程測量儀KY®CDG025D-X3-過程儀表-溫度補償，環境獨立INFICONSKYCDG025D電容式隔膜真空計系列的高精度、溫度補償型壓力計，可以在惡劣的生產加工環境中提供穩定的性能
CDG025D-X3.pdf
CDG025D-X3電容膜片真空計（0.1 ...1000 乇/毫巴）
SKY® CDG025D-X3 0.1 ...1000 TORR / MBAR 過程測量儀
KY® CDG025D-X3 - 過程儀表 - 溫度補償，環境獨立
INFICON SKY CDG025D 電容式隔膜真空計系列的高精度、溫度補償型壓力計，可以在惡劣的生產加工環境中提供穩定的性能。高級數字電子元件可提高儀表性能, 且易操作, 例如一鍵歸零功能和設定點調整。防腐蝕超純陶瓷傳感器提供優異的零位穩定性（包括氣壓突變的情況），預期使用壽命長達數百萬次壓力循環。傳感器屏蔽可防止儀表被過程污染。堅固的機械設計和數字電子元件可以改進電磁兼容性 (EMC)、長期穩定性和溫度補償。CDG025D 為開機后快速穩定以及從氣壓中快速恢復的功能樹立了新的標準。
從 100 mTorr 至 1000 Torr 的滿刻度量程
電源接通后快速穩定
暴露于大氣壓后快速恢復
防腐蝕陶瓷傳感器
zhuoyue的長期信號穩定性
溫度補償
傳感器受雙重防污染保護
一鍵調零功能
寬范圍電源
2個設定點
RS232 接口
無塵室合規
用于蝕刻、CVD、PVD 和 ALD 的半導體制造設備
數據存儲和顯示器制造設備
工業真空設備
經濟、高度精確的壓力測量
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