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INFICON CDG100D SKY電容膜片真空計

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更新時間:2024-08-15 10:44:13瀏覽次數:138次

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產品簡介

INFICONCDG100DSKY電容膜片真空計INFICONSKYCDG100D真空計是高精度總壓強測量和控制的

詳細介紹

INFICON CDG100D SKY電容膜片真空計


INFICON SKY CDG100D真空計是高精度總壓強測量和控制的。為達到優異的半導體和等離子過程要求的性能,將CDG100D真空計的溫度控制于100度。全量程范圍從100毫乇至1000乇,配有全部常用的法蘭型式和Fieldbus接口,和提供線性的010伏與氣體類型無關的壓強訊號。INFICON電容真空計采用超純抗腐蝕的氧化鋁陶瓷膜片。陶瓷傳感器的優點是訊號穩定性好,從大氣壓恢復快,預熱時間短和超長的使用壽命。INFICON CDG是高質量,成本效益好的壓強傳感器,用于半導體,等離子和各項要求高的真空應用中。

*性:

1、  CoO(擁有成本),50%快速預熱,能效高,功耗低

2、  易整合于系統中,寬量程范圍,法蘭和接口,標準型號帶有兩個設點

3、  簡易的一鍵操作或遙控訊號調零指令,零點偏離可調

4、  診斷端口用于快速檢修和維護

5、  兩年保用期,采用的加熱概念和規管保護,真空計使用壽命長

6、  由于的訊號穩定性和可重復性,即使在嚴酷的等離子應用條件下仍可長期使用,無需重新校準

7、  符合標準:CE,EN,UL,SEMI,RoHS

用途:

1、  刻蝕,PVD,CVD和其它半導體生產過程

2、  化學和腐蝕性高溫過程

3、  需要真空計保護的常用薄膜和真空過程



關鍵詞:真空計 傳感器

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