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INFICON CDG100D SKY電容膜片真空計

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更新時間:2024-08-15 10:44:13瀏覽次數(shù):139次

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產(chǎn)品簡介

INFICONCDG100DSKY電容膜片真空計INFICONSKYCDG100D真空計是高精度總壓強測量和控制的

詳細(xì)介紹

INFICON CDG100D SKY電容膜片真空計


INFICON SKY CDG100D真空計是高精度總壓強測量和控制的。為達(dá)到優(yōu)異的半導(dǎo)體和等離子過程要求的性能,將CDG100D真空計的溫度控制于100度。全量程范圍從100毫乇至1000乇,配有全部常用的法蘭型式和Fieldbus接口,和提供線性的010伏與氣體類型無關(guān)的壓強訊號。INFICON電容真空計采用超純抗腐蝕的氧化鋁陶瓷膜片。陶瓷傳感器的優(yōu)點是訊號穩(wěn)定性好,從大氣壓恢復(fù)快,預(yù)熱時間短和超長的使用壽命。INFICON CDG是高質(zhì)量,成本效益好的壓強傳感器,用于半導(dǎo)體,等離子和各項要求高的真空應(yīng)用中。

*性:

1、  CoO(擁有成本),50%快速預(yù)熱,能效高,功耗低

2、  易整合于系統(tǒng)中,寬量程范圍,法蘭和接口,標(biāo)準(zhǔn)型號帶有兩個設(shè)點

3、  簡易的一鍵操作或遙控訊號調(diào)零指令,零點偏離可調(diào)

4、  診斷端口用于快速檢修和維護

5、  兩年保用期,采用的加熱概念和規(guī)管保護,真空計使用壽命長

6、  由于的訊號穩(wěn)定性和可重復(fù)性,即使在嚴(yán)酷的等離子應(yīng)用條件下仍可長期使用,無需重新校準(zhǔn)

7、  符合標(biāo)準(zhǔn):CE,EN,UL,SEMI,RoHS

用途:

1、  刻蝕,PVD,CVD和其它半導(dǎo)體生產(chǎn)過程

2、  化學(xué)和腐蝕性高溫過程

3、  需要真空計保護的常用薄膜和真空過程



關(guān)鍵詞:真空計 傳感器

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