INFICON CDG100D SKY電容膜片真空計
INFICON SKY CDG100D真空計是高精度總壓強測量和控制的。為達到優異的半導體和等離子過程要求的性能,將CDG100D真空計的溫度控制于100度。全量程范圍從100毫乇至1000乇,配有全部常用的法蘭型式和Fieldbus接口,和提供線性的0至10伏與氣體類型無關的壓強訊號。INFICON電容真空計采用超純抗腐蝕的氧化鋁陶瓷膜片。陶瓷傳感器的優點是訊號穩定性好,從大氣壓恢復快,預熱時間短和超長的使用壽命。INFICON CDG是高質量,成本效益好的壓強傳感器,用于半導體,等離子和各項要求高的真空應用中。
*性:
1、 低CoO(擁有成本),50%快速預熱,能效高,功耗低
2、 易整合于系統中,寬量程范圍,法蘭和接口,標準型號帶有兩個設點
3、 簡易的一鍵操作或遙控訊號調零指令,零點偏離可調
4、 診斷端口用于快速檢修和維護
5、 兩年保用期,采用的加熱概念和規管保護,真空計使用壽命長
6、 由于的訊號穩定性和可重復性,即使在嚴酷的等離子應用條件下仍可長期使用,無需重新校準
7、 符合標準:CE,EN,UL,SEMI,RoHS
用途:
1、 刻蝕,PVD,CVD和其它半導體生產過程
2、 化學和腐蝕性高溫過程
3、 需要真空計保護的常用薄膜和真空過程