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INFICON AllceramicTM CDG025-C SKY電容膜片真空計

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更新時間：2024-08-13 17:47:18瀏覽次數(shù)：149次

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所在地區(qū)：廣東深圳市

產(chǎn)品簡介

INFICONAllceramicTMCDG025-CSKY電容膜片真空計SKYAllCeramicCDG全部顯露于真空的表面由超純氧化鋁陶瓷構(gòu)成，替代常規(guī)CDG的不銹鋼材料，本產(chǎn)品適用于必須避免金屬污染的應(yīng)用中

詳細(xì)介紹

INFICON AllceramicTM CDG025-C SKY電容膜片真空計

SKY AllCeramic CDG全部顯露于真空的表面由超純氧化鋁陶瓷構(gòu)成，替代常規(guī)CDG的不銹鋼材料，本產(chǎn)品適用于必須避免金屬污染的應(yīng)用中。

優(yōu)勢：

1、無金屬污染。

2、臨界的零點漂移。

3、事實上的耐腐蝕性-長傳感器的壽命的結(jié)果是減少停機時間。

4、從而階段擁有的成本。

5、在整個長的運行周期中優(yōu)等的精度和重復(fù)性。

6、更好的長期穩(wěn)定性和溫度穩(wěn)定性。

7、對頻繁暴露于大氣不敏感。可免除隔離閥（取決于工作模式）

8、由于保護性屏蔽（Suprashield）,對微粒和過程副產(chǎn)物不敏感。

用途：

1、刻蝕、CVD和PVD工藝過程。

2、采用注入或按擴散工藝的硅摻雜過程。

3、氧化過程。

4、產(chǎn)生膜厚為100A范圍的柵氧化層。

5、產(chǎn)生阻擋（Ti,TiN,Ta和TaN作為硅與鋁或銅之間的保護膜層）

產(chǎn)品特點：SKY AllCeramic CDG全部顯露于真空的表面由超純氧化鋁陶瓷構(gòu)成，替代常規(guī)CDG的不銹鋼材料，本產(chǎn)品適用于必須避免金屬污染的應(yīng)用中。

關(guān)鍵詞：真空計 傳感器

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