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INFICON（英福康）CDG160D電容薄膜真空計

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更新時間：2024-08-12 15:00:33瀏覽次數：232次

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產品簡介

CDG160DINFICON（英福康）CDG160D電容薄膜真空計的詳細資料：CDG160D電容薄膜真空計的詳細介紹CDG160D電容薄膜真空計和CDG200D電容薄膜真空計溫度控制分別在160℃和200°C，具有的性能，適用于苛刻的半導體和等離子過程

詳細介紹

CDG160DINFICON（英福康）CDG160D電容薄膜真空計的詳細資料：

CDG160D電容薄膜真空計  的詳細介紹

CDG160D電容薄膜真空計和CDG200D電容薄膜真空計溫度控制分別在 160 ℃ 和 200 °C，具有的性能，適用于苛刻的半導體和等離子過程。 在 1 托至 1000 托滿刻度范圍內均可使用，帶有所有常用類型的法蘭和現場總線接口，能夠提供 0 至 10V、不受氣體類型限制的線性壓力信號。 INFICON 電容式壓力計采用超純氧化鋁陶瓷隔膜，具有防腐蝕性。 陶瓷傳感器具有信號穩定性更佳、從大氣恢復的速度更快、預熱時間短和使用壽命長等諸多優勢。 INFICON CDG 品質，成本效益，適用于苛刻的半導體、等離子和真空應用。
 

CDG160D電容薄膜真空計益處

  • 擁有成本更低，預熱速度快 50%，節能，低功耗

  • 易于集成，各種滿刻度、法蘭和接口，標配兩個設定點

  • 輕松一鍵調零或遠程信號調零指令，可調零點偏移

  • 診斷端口用于快速維修和維護

  • 兩年保修服務，加熱概念和真空計保護延長了使用壽命

  • 的信號穩定性和可重復性，即使是的等離子應用，都無需長期執行重新校準

  • 合規性與標準： CE、EN、UL、SEMI、RoHS

CDG160D電容薄膜真空計典型應用

  • 用于刻蝕、CVD、PVD 和其他半導體制造過程

  • 化學和腐蝕性高溫過程

  • 需要真空計保護的一般薄膜和真空過程

CDG160D電容薄膜真空計選型：

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